Vzdrževanje natančnosti granitne platforme kot referenčnega orodja za natančne meritve in obdelavo neposredno vpliva na kakovost proizvodnje. V nadaljevanju je predstavljen sistematičen načrt vzdrževanja, ki zajema nadzor okolja, dnevno vzdrževanje in profesionalno kalibracijo, da se zagotovi dolgoročno ohranjanje natančnosti na nanometrski ravni platforme.
1. Nadzor okolja: Zgradite natančno zaščitno pregrado
Upravljanje temperature in vlažnosti
Temperaturo delovnega okolja je treba stabilizirati na 20 ± 1 ℃. Vsako nihanje za 1 ℃ povzroči toplotno deformacijo granitne ploščadi za 0,5–1 μm/m. V delavnici je mogoče namestiti sistem za konstantno temperaturo, ki preprečuje, da bi izhodi klimatske naprave pihali neposredno na ploščad.
Vlažnost je treba nadzorovati med 40 % in 60 %. Prekomerna vlažnost lahko zlahka povzroči rjavenje kovinskih delov, prenizka vlažnost pa lahko povzroči motnje statične elektrike pri meritvah.
Izolacija vibracij
Ploščad je treba hraniti stran od virov vibracij, kot so stroji za štancanje in rezkanje. Priporočljivo je, da je od vibracijske opreme oddaljena več kot 3 metre.
Če se vibracijam ni mogoče izogniti, se lahko na dno ploščadi namestijo zračni vzmeti, ki zmanjšajo vpliv vibracij iz okolja na ravnost ploščadi (kar lahko zmanjša zunanje vibracije za več kot 80 %).
2. Dnevno vzdrževanje: Skrbna kontrola od čiščenja do zaščite
Specifikacija površinskega čiščenja
Odstranjevanje prahu: Površino vsak dan obrišite z jelenovo kožo ali krpo, ki ne pušča vlaken, v isti smeri, da preprečite, da bi delci prahu (≥5 μm) opraskali ploščad. Trdovratne madeže lahko nežno obrišete z brezvodnim etanolom (čistota ≥99,7 %). Močnih topil, kot je aceton, ne smete uporabljati.
Razmaščevanje: Če pride v stik z oljnimi madeži, ga obrišite z razredčenim nevtralnim čistilom, nato sperite z deionizirano vodo in posušite na zraku, da preprečite prodiranje mineralnega olja v drobne pore ploščadi.
Zaščita pred tovorom in trkom
Nosilnost ploščadi je treba nadzorovati znotraj 70 % nazivne obremenitve (na primer, za ploščad s težo 1000 kg je priporočljivo, da je obremenitev ≤ 700 kg), da se prepreči trajna deformacija zaradi lokalne preobremenitve.
Strogo je prepovedano udarjati obdelovance ob ploščad. Pri rokovanju z orodjem nosite mehke rokavice, da preprečite, da bi ostri predmeti opraskali površino (praske, globlje od 20 μm, bodo vplivale na merjenje odbite svetlobne poti).
3. Profesionalna kalibracija: Jedro znanstvenega vzdrževanja natančnosti
Nastavitev kalibracijskega cikla
Običajni scenariji uporabe: Kalibrirajte enkrat na četrtletje in uporabite laserski interferometer za zaznavanje ravnosti (z natančnostjo ±0,5 μm/m).
Visokofrekvenčna uporaba ali zahtevna okolja: Mesečna kalibracija s poudarkom na spremljanju temperaturno občutljivih območij (kot je rob ploščadi v bližini virov toplote).
Obdelava po kalibraciji
Če se ugotovi odstopanje ravnosti (npr. > ±1 μm/m), ga mora strokovni tehnik zbrusiti in popraviti z mikroprahom W1,5. Samobrušenje z brusnim papirjem je strogo prepovedano.
Po kalibraciji je treba podatke zabeležiti in arhivirati ter vzpostaviti krivuljo slabljenja natančnosti platforme, da se vnaprej napovejo potrebe po vzdrževanju.
4. Skladiščenje in transport: Izogibajte se skriti izgubi natančnosti
Ključne točke za dolgoročno shranjevanje
Med shranjevanjem mora biti pokrita s pokrovom, odpornim proti vlagi in prahu. Dno mora biti podprto s tremi točkami (točka podpore se nahaja na 2/9 dolžine ploščadi), da se prepreči upogibna deformacija zaradi gravitacije (1-metrska ploščad se lahko zaradi dolgotrajne opore na eni točki upogne za 0,3 μm).
Redno (mesečno) spreminjajte položaj podpornih točk ploščadi, da preprečite dolgotrajni lokalni pritisk.
Načrt za zaščito prometa
Prevoz na kratke razdalje: Ovijte s peno, ki absorbira udarce, pritrdite v tog okvir in ohranite pospešek znotraj 2g.
Prevoz na dolge razdalje: Vakuumsko zapakirano in napolnjeno s suhim dušikom. Po prihodu ga je treba pred razpakiranjem pustiti stati 24 ur, da se temperatura uravnoteži, da se prepreči vpliv kondenzacijske vode na natančnost.
5. Napovedovanje napak: Tehnike za zgodnje prepoznavanje težav
Vizualni pregled: Površino redno opazujte s 40-kratno povečevalno steklom. Če opazite neprekinjene praske ali znatno zmanjšanje sijaja, lahko to kaže na zmanjšanje natančnosti.
Zaznavanje zvoka: Nežno potrkajte po ploščadi. Če zvok postane hripav (običajno bi moral biti jasen), so v notranjosti lahko mikrorazpoke. Za zaznavanje takoj prenehajte z uporabo.
S tem vzdrževalnim sistemom lahko granitna ploščad ZHHIMG® vzdržuje ravnost ±1 μm/m 10 let, kar je več kot trikrat dlje od natančne življenjske dobe ploščadi, ki niso pravilno vzdrževane. Praksa je pokazala, da se je po tem, ko je določena tovarna polprevodnikov sprejela to rešitev, pogostost kalibracije ploščadi zmanjšala za 50 %, letni stroški vzdrževanja pa so bili prihranjeni za več kot 150.000 juanov.
Čas objave: 18. junij 2025