Material – keramika

♦Aluminijev oksid (Al2O3)

Natančni keramični deli, ki jih proizvaja ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), so lahko izdelani iz keramičnih surovin visoke čistosti, 92~97 % aluminijevega oksida, 99,5 % aluminijevega oksida, >99,9 % aluminijevega oksida in hladnega izostatičnega stiskanja CIP.Visokotemperaturno sintranje in natančna obdelava, dimenzijska natančnost ± 0,001 mm, gladkost do Ra0,1, temperatura uporabe do 1600 stopinj.Različne barve keramike lahko izdelamo glede na zahteve kupcev, kot so: črna, bela, bež, temno rdeča itd. Natančni keramični deli, ki jih proizvaja naše podjetje, so odporni na visoke temperature, korozijo, obrabo in izolacijo ter jih je mogoče dolgo časa v okolju z visoko temperaturo, vakuumom in korozivnim plinom.

Pogosto se uporablja v različni opremi za proizvodnjo polprevodnikov: okvirji (keramični nosilec), podlaga (osnova), roka/most (manipulator), mehanske komponente in keramični zračni ležaj.

AL2O3

ime izdelka Keramična kvadratna cev/cev/palica iz aluminijevega oksida 99 visoke čistosti
Kazalo Enota 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Gostota g/cm3 3.3 3,65 3.8 3.9
Absorpcija vode % <0,1 <0,1 0 0
Temperatura sintranja 1620 1650 1800 1800
Trdota Mohs 7 9 9 9
Upogibna trdnost (20 ℃)) Mpa 200 300 340 360
Tlačna trdnost Kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Dolgotrajna delovna temperatura 1350 1400 1600 1650
maks.Delovna temperatura 1450 1600 1800 1800
Volumski upor 20 ℃ Ω.cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Uporaba keramike z visoko čistostjo aluminijevega oksida:
1. Uporablja se za polprevodniško opremo: keramična vakuumska vpenjalna glava, rezalna plošča, čistilna plošča, keramična vpenjalna glava.
2. Deli za prenos rezin: vpenjalne glave za obdelavo rezin, rezalne plošče za rezine, čistilne plošče za rezine, priseski za optično pregledovanje rezin.
3. Industrija ploskih zaslonov LED/LCD: keramična šoba, keramični brusni disk, LIFT PIN, PIN letev.
4. Optična komunikacija, solarna industrija: keramične cevi, keramične palice, sitotisk na vezje, keramična strgala.
5. Toplotno odporni in električno izolacijski deli: keramični ležaji.
Trenutno lahko keramiko iz aluminijevega oksida razdelimo na keramiko visoke čistosti in običajno keramiko.Serija keramike iz aluminijevega oksida visoke čistosti se nanaša na keramični material, ki vsebuje več kot 99,9 % Al₂O₃.Zaradi njegove temperature sintranja do 1650 - 1990 °C in njegove transmisijske valovne dolžine 1 ~ 6 μm se običajno predela v staljeno steklo namesto v lonček iz platine: ki se lahko uporablja kot natrijeva cev zaradi njegove prepustnosti svetlobe in odpornosti proti koroziji na alkalijska kovina.V elektronski industriji se lahko uporablja kot visokofrekvenčni izolacijski material za podlage IC.Glede na različne vsebnosti aluminijevega oksida lahko običajno serijo keramike iz aluminijevega oksida razdelimo na 99 keramike, 95 keramike, 90 keramike in 85 keramike.Včasih je keramika z 80 % ali 75 % aluminijevega oksida razvrščena tudi kot običajna serija keramike iz aluminijevega oksida.Med njimi se keramični material 99 iz aluminijevega oksida uporablja za izdelavo visokotemperaturnega lončka, ognjevarne cevi za peč in posebnih materialov, odpornih proti obrabi, kot so keramični ležaji, keramična tesnila in ventilske plošče.95 aluminijasta keramika se uporablja predvsem kot korozijsko odporen del, odporen proti obrabi.Keramika 85 je pogosto mešana v nekaterih lastnostih, s čimer se izboljša električna zmogljivost in mehanska trdnost.Uporablja lahko molibden, niobij, tantal in druga kovinska tesnila, nekatera pa se uporabljajo kot električne vakuumske naprave.

 

Kakovostni element (reprezentativna vrednost) ime izdelka AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Kemična sestava Izdelek za enostavno sintranje z nizko vsebnostjo natrija H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9 99.9
Srednji premer delcev (MT-3300, metoda laserske analize) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
α Velikost kristala μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Gostota oblikovanja** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Gostota sintranja** g/cm³ 3,88 3.93 3.94 3.93 3,88 3.77 3.22
Hitrost krčenja linije za sintranje** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO ni vključen v izračun čistosti Al₂O3.
* Brez prahu za luščenje 29,4 MPa (300 kg/cm²), temperatura sintranja je 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: dodajte 0,05 ~ 0,1 % MgO, sintranje je odlično, zato je uporabno za keramiko iz aluminijevega oksida s čistostjo več kot 99 %.
AES-22S: zanj je značilna visoka gostota oblikovanja in nizka stopnja krčenja linije za sintranje, zato je uporaben za ulivanje z drsnimi oblikami in druge izdelke velikega obsega z zahtevano dimenzijsko natančnostjo.
AES-23 / AES-31-03: Ima večjo gostoto oblikovanja, tiksotropijo in nižjo viskoznost kot AES-22S.prvi se uporablja za keramiko, medtem ko se drugi uporablja kot reduktor vode za ognjevarne materiale, ki pridobivajo na priljubljenosti.

♦Karakteristike silicijevega karbida (SiC).

Splošne značilnosti Čistost glavnih sestavin (masni %) 97
barva Črna
Gostota (g/cm³) 3.1
Absorpcija vode (%) 0
Mehanske lastnosti Upogibna trdnost (MPa) 400
Youngov modul (GPa) 400
Vickersova trdota (GPa) 20
Toplotne značilnosti Najvišja delovna temperatura (°C) 1600
Koeficient toplotnega raztezanja RT~500°C 3.9
(1/°C x 10-6) RT~800°C 4.3
Toplotna prevodnost (W/m x K) 130 110
Odpornost na toplotni udar ΔT (°C) 300
Električne značilnosti Volumski upor 25°C 3 x 106
300°C -
500°C -
800°C -
Dielektrična konstanta 10 GHz -
Dielektrična izguba (x 10-4) -
Faktor Q (x 104) -
Dielektrična prebojna napetost (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Keramika iz silicijevega nitrida

Material Enota Si₃N₄
Metoda sintranja - Sintrano pod tlakom plina
Gostota g/cm³ 3.22
barva - Temno siva
Stopnja absorpcije vode % 0
Young Modulus Gpa 290
Trdota po Vickersu Gpa 18 - 20
Tlačna trdnost Mpa 2200
Upogibna trdnost Mpa 650
Toplotna prevodnost W/mK 25
Odpornost na toplotni udar Δ (°C) 450 - 650
Najvišja delovna temperatura °C 1200
Volumski upor Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektrična konstanta - 8.2
Dielektrična trdnost kV/mm 16