Revolucija preciznosti v proizvodnji polprevodnikov: Ko se granit sreča z mikronsko tehnologijo
1.1 Nepričakovana odkritja v znanosti o materialih
Glede na poročilo Mednarodnega združenja polprevodnikov SEMI iz leta 2023 je 63 % svetovnih naprednih tovarn začelo uporabljati granitne podlage namesto tradicionalnih kovinskih platform. Ta naravni kamen, ki izvira iz kondenzacije magme globoko v Zemlji, zaradi svojih edinstvenih fizikalnih lastnosti na novo piše zgodovino proizvodnje polprevodnikov:
Prednost toplotne vztrajnosti: koeficient toplotnega raztezanja granita 4,5 × 10⁻⁶/℃ je le 1/5 koeficienta nerjavečega jekla, dimenzijska stabilnost ± 0,001 mm pa se ohranja pri neprekinjenem delu litografskega stroja.
Značilnosti dušenja vibracij: koeficient notranjega trenja je 15-krat višji kot pri litem železu, kar učinkovito absorbira mikrovibracije opreme
Ničelna magnetizacija: popolnoma odpravite magnetno napako pri laserskem merjenju
1.2 Pot preobrazbe od rudnika do tovarne
Če za primer vzamemo inteligentno proizvodno bazo ZHHIMG v Shandongu, mora kos surovega granita prestati:
Ultra precizna obdelava: petosni obdelovalni center s prečkami za 200 ur neprekinjenega rezkanja, hrapavost površine do Ra0,008 μm
Umetno staranje: 48 ur naravnega sproščanja napetosti v delavnici s konstantno temperaturo in vlažnostjo, kar izboljša stabilnost izdelka za 40 %.
Drugič, razrešite šest težav s preciznostjo pri izdelavi polprevodnikov "kamenita rešitev"
2.1 Shema za zmanjšanje stopnje drobljenja rezin
Predstavitev primera: Po tem, ko je livarna čipov v Nemčiji uvedla našo plinsko plavajočo granitno platformo:
| Premer rezine | zmanjšanje hitrosti čipov | izboljšanje ravnosti |
| 12 palcev | 67 % | ≤0,001 mm |
| 18 palcev | 82 % | ≤0,0005 mm |
2.2 Shema preboja natančnosti litografske poravnave
Sistem za kompenzacijo temperature: vgrajen keramični senzor spremlja obliko v realnem času in samodejno prilagaja naklon ploščadi
Izmerjeni podatki: pri nihanju 28 ℃ ± 5 ℃ natančnost vgradnje niha za manj kot 0,12 μm
Čas objave: 24. marec 2025