Na področju precizne proizvodnje in znanstvenih raziskav je ravnost granitnih preciznih ploščadi ključni kazalnik za zagotavljanje natančnosti opreme. Sledi podroben uvod v več glavnih metod zaznavanja in njihove postopke delovanja.
I. Metoda zaznavanja z laserskim interferometrom
Laserski interferometer je prednostno orodje za visoko natančno zaznavanje ravnosti. Vzemimo za primer laserski interferometer ZYGO GPI XP, njegova ločljivost lahko doseže 0,1 nm. Pri izvajanju zaznavanja najprej poravnamo vir svetlobe interferometra s platformo in površino platforme razdelimo na mrežna območja velikosti 50 mm × 50 mm. Nato smo podatke o interferenčnih robovih zbrali točka za točko, podatke pa smo prilagodili in analizirali z Zernikejevim polinomom, da smo dobili napako ravnosti. Ta metoda se uporablja za visoko natančne platforme in lahko zazna napake ravnosti ≤ 0,5 μm/m². Pogosto se uporablja pri zaznavanju fotolitografskih strojev in vrhunskih platform s tremi koordinatnimi merilnimi stroji.
II. Metoda elektronskega nivelirnega polja
Elektronska nivelirna naprava za zaznavanje je preprosta za uporabo in zelo učinkovita. Izbrana je bila elektronska nivelirna naprava TESA A2 (z ločljivostjo 0,01 μm/m) in razporejena v matriko 9×9 vzdolž smeri osi X/Y platforme. Z istočasnim zbiranjem podatkov o naklonu vsake nivelme in nato z uporabo metode najmanjših kvadratov za izračun je mogoče natančno določiti vrednost ravnosti. Ta metoda lahko učinkovito prepozna lokalno konkavnost in konveksnost platforme. Na primer, zazna lahko tudi nihanje 0,2 μm v območju 50 mm, kar je primerno za hitro zaznavanje v množični proizvodnji.
Iii. Metoda optičnega ploščatega kristala
Metoda z optičnim ravnim kristalom je primerna za zaznavanje platform z majhno površino. Optični ravni kristal tesno pritrdite na površino, ki jo želite preizkusiti na platformi, in opazujte interferenčne proge, ki nastanejo med njima pod osvetlitvijo monokromatskega svetlobnega vira (kot je natrijeva sijalka). Če so proge vzporedne ravne proge, to kaže na dobro ravnost. Če se pojavijo ukrivljene proge, izračunajte napako ravnosti na podlagi stopnje ukrivljenosti prog. Vsaka ukrivljena proga predstavlja višinsko razliko 0,316 μm, podatke o ravnosti pa je mogoče dobiti s preprosto pretvorbo.
Štiri. Metoda pregleda s trikoordinatnim merilnim strojem
Trikoordinatni merilni stroj lahko doseže visoko natančne meritve v tridimenzionalnem prostoru. Granito ploščad postavite na delovno mizo merilnega stroja in s sondo enakomerno zberite podatke z več merilnih točk na površini ploščadi. Sistem merilnega stroja obdela in analizira te podatke, da ustvari poročilo o ravnosti ploščadi. Ta metoda ne more le zaznati ravnosti, temveč hkrati pridobiti tudi druge geometrijske parametre ploščadi in je primerna za celovito zaznavanje velikih granitnih ploščadi.
Obvladovanje teh metod zaznavanja vam lahko pomaga natančno oceniti ravnost granitne precizne ploščadi in zagotoviti zanesljivo jamstvo za stabilno delovanje precizne opreme.
Čas objave: 29. maj 2025