Na področju vrhunske proizvodnje in najsodobnejših znanstvenih raziskav je ultra precizni gibalni modul zračnega plovca postal ključna oprema za fino delovanje in merjenje s svojo odlično natančnostjo. Granitna precizna podlaga kot podporno jedro ima stroge zahteve glede delovnega okolja, ustrezni okoljski pogoji pa so osnova za zagotavljanje stabilnega delovanja in najboljšega učinka.
Prvič, nadzor temperature: natančni "stabilizator"
Čeprav je granit znan po svoji stabilnosti, ni popolnoma imun na temperaturne spremembe. Čeprav je njegov koeficient toplotnega raztezanja nizek, običajno 5–7 × 10⁻⁶/℃, lahko v scenarijih ultra preciznega krmiljenja gibanja subtilna temperaturna nihanja še vedno povzročijo dimenzijske spremembe in vplivajo na natančnost modulov. V delavnici za proizvodnjo polprevodniških čipov postopek litografije zahteva natančnost pozicioniranja na ravni danami, temperatura okolice pa niha za 1 °C, granitna podlaga s stranico 1 meter pa lahko povzroči linearno raztezanje ali krčenje za 5–7 mikronov. To majhno spremembo prenaša ultra precizni modul gibanja zračnega plovca, kar je dovolj, da povzroči odstopanje vzorca litografije čipa in močno zmanjša izkoristek. Zato je treba pri opremi z granitno natančno podlago ultra preciznega gibljivega modula z zračnim plavajočim zrakom idealno delovno temperaturo nadzorovati na 20 °C ± 1 °C. S pomočjo visoko precizne opreme za konstantno temperaturo, kot je klimatska naprava s konstantno temperaturo in vlažnostjo, je treba nenehno spremljati in prilagajati temperaturo okolice, da se zagotovijo zelo majhna nihanja temperature, stabilnost velikosti podlage in visoko natančno delovanje modula.
Drugič, upravljanje vlažnosti: ključ do zaščite pred vlago "kamen"
Vlažnost je še en pomemben dejavnik, ki vpliva na delovanje precizne granitne podlage. V okolju z visoko vlažnostjo granit zlahka absorbira vodno paro, kar lahko povzroči kondenzacijo na površini. To ne vpliva le na stabilnost povezave med granitom in ultra preciznim gibalnim modulom zračnega plovca, temveč lahko dolgoročno povzroči tudi erozijo površine ter zmanjša sijaj in natančnost. V delavnici za brušenje optičnih leč, če je vlažnost dalj časa višja od 60 % relativne vlažnosti, bo vodna para, adsorbirana na površini granitne podlage, motila gibanje drsnika plinskega plovca, kar bo zmanjšalo natančnost brušenja leč in povzročilo napake na površini. Zato je treba relativno vlažnost delovnega okolja strogo nadzorovati med 40 % in 60 % relativne vlažnosti, kar je mogoče spremljati in prilagajati v realnem času z namestitvijo razvlažilnikov zraka, senzorjev vlažnosti in druge opreme, da se prepreči poškodba granitne podlage zaradi visoke vlažnosti in zagotovi nemoteno delovanje ultra preciznega gibalnega modula zračnega plovca.
Tretjič, jamstvo za čistočo: "varuh" natančnosti
Škode prašnih delcev za precizno granitno podlago ultra preciznega gibalnega modula zračnega flotiranja ne gre podcenjevati. Ko drobni delci vstopijo v režo plinskega filma med drsnikom plinskega plovca in granitno podlago, lahko uničijo enakomernost plinskega filma, povečajo trenje in celo opraskajo površino podlage, kar zmanjša natančnost gibanja. V ultra precizni strojni delavnici za letalske dele, če prašni delci iz zraka padejo na granitno podlago, se lahko pot gibanja obdelovalnega orodja odkloni, kar vpliva na natančnost obdelave delov. Zato je treba delovno območje vzdrževati zelo čisto, dosegati 10.000 ali celo višje ravni standardov čistoče z namestitvijo opreme za čiščenje zraka, kot so visoko učinkoviti zračni filtri (HEPA), ki filtrirajo prašne delce v zraku, hkrati pa mora osebje nositi oblačila brez prahu, prevleke za čevlje itd., da se zmanjša prah, ki ga prinašajo ljudje. Vzdržujte visoko natančno delovno okolje granitne podlage in ultra preciznega gibalnega modula zračnega plovca.
Četrtič, izolacija vibracij: nemoteno delovanje "udarne blazinice"
Zunanje vibracije so sovražnik natančnosti ultra preciznega gibalnega modula zračnega plovca. Čeprav ima precizna granitna osnova določeno sposobnost dušenja vibracij, lahko vibracije visoke jakosti še vedno presežejo svojo mejo blažilnika. Vibracije, ki jih povzroča promet okoli tovarne in delovanje velike mehanske opreme, se prenašajo na granitno osnovo skozi tla, kar vpliva na natančnost gibanja ultra preciznega gibalnega modula zračnega plovca. Pri visokokakovostnih koordinatnih merilnih strojih (CMM) lahko vibracije povzročijo nestabilen stik med merilno sondo in obdelovancem, ki ga je treba izmeriti, kar povzroči odstopanje merilnih podatkov. Da bi rešili to težavo, je treba sprejeti učinkovite ukrepe za izolacijo vibracij, kot so polaganje blazinic za izolacijo vibracij na območju namestitve opreme, izgradnja temeljev za izolacijo vibracij ali uporaba aktivnega sistema za izolacijo vibracij za aktivno uravnavanje zunanjih vibracij ter ustvarjanje mirnega in stabilnega delovnega okolja za precizno granitno osnovo in ultra precizni gibalni modul zračnega plovca.
Le s popolnim izpolnjevanjem okoljskih zahtev glede temperature, vlažnosti, čistoče in nadzora vibracij lahko granitna precizna osnova ultra preciznega gibalnega modula zračnega plovca v celoti izkoristi svoje prednosti delovanja, zagotovi zanesljivo jamstvo za ultra precizne operacije na različnih področjih in pomaga industriji, da se premakne k višji ravni precizne proizvodnje in znanstvenih raziskav.
Čas objave: 8. april 2025