V delavnici za proizvodnjo polprevodnikov so zahteve procesa izdelave čipov glede okoljskih pogojev in natančnosti opreme ekstremne, zato lahko že najmanjše odstopanje povzroči znatno zmanjšanje izkoristka čipa. Precizna portalna platforma XYZT se zanaša na granitne komponente, ki sodelujejo z drugimi deli platforme in tako gradijo trdne temelje za doseganje nanoskopske natančnosti.
Odlične lastnosti blokiranja vibracij
V delavnici za proizvodnjo polprevodnikov lahko delovanje periferne opreme in gibanje osebja povzroči vibracije. Notranja struktura granitnih komponent je gosta in enakomerna, z naravnimi visokimi lastnostmi dušenja, kot učinkovita vibracijska "pregrada". Ko se zunanje vibracije prenesejo na platformo XYZT, lahko granitna komponenta učinkovito ublaži več kot 80 % vibracijske energije in zmanjša vpliv vibracij na natančnost gibanja platforme. Hkrati je platforma opremljena z visoko natančnim sistemom zračnega plovca, ki deluje skupaj z granitnimi komponentami. Zračni plovec uporablja stabilen plinski film, ki ga tvori visokotlačni plin, za brezkontaktno gibanje vzmetenja gibljivih delov platforme in zmanjšanje majhnih vibracij, ki jih povzroča mehansko trenje. Skupaj zagotavljata, da je natančnost pozicioniranja platforme v ključnih procesih, kot sta litografija in jedkanje čipov, vedno na nanometrski ravni, ter preprečujeta odstopanja vzorcev vezij čipov zaradi vibracij.
Odlična toplotna stabilnost
Nihanje temperature in vlažnosti v delavnici močno vpliva na natančnost opreme za proizvodnjo čipov. Koeficient toplotnega raztezanja granita je zelo nizek, običajno 5-7 × 10⁻⁶/℃, velikost pa se pri spremembi temperature skoraj ne spremeni. Tudi če temperaturna razlika med dnevom in nočjo v delavnici ali proizvodnja toplote opreme povzroči nihanje temperature okolice, lahko granitne komponente ostanejo stabilne, kar preprečuje deformacijo platforme zaradi toplotnega raztezanja in krčenja. Hkrati inteligentni sistem za nadzor temperature, s katerim je opremljena platforma, spremlja temperaturo okolice v realnem času, samodejno prilagaja klimatizacijo in opremo za odvajanje toplote ter vzdržuje temperaturo v delavnici pri 20 °C ± 1 °C. V kombinaciji s prednostmi toplotne stabilnosti granita zagotavlja, da platforma med dolgotrajnim delovanjem vedno izpolnjuje nanometrske standarde natančnosti pri izdelavi čipov, kar zagotavlja natančno velikost vzorca litografije čipov in enakomerno globino jedkanja.
Izpolnite potrebe čistega okolja
V obratu za proizvodnjo polprevodnikov je treba vzdrževati visoko stopnjo čistoče, da se prepreči onesnaženje čipa s prašnimi delci. Granit sam po sebi ne proizvaja prahu, površina pa je gladka in ne absorbira prahu. Platforma ima popolnoma zaprto ali polzaprto strukturo, da se zmanjša vdor zunanjega prahu. Notranji sistem kroženja zraka je povezan s čistim klimatskim sistemom delavnice, da se zagotovi, da čistoča notranjega zraka doseže raven, ki jo zahteva proizvodnja čipov. V tem čistem okolju granitne komponente ne bodo vplivale na delovanje zaradi erozije prahu, ključne komponente platforme, kot so visoko natančni senzorji in motorji, pa lahko delujejo stabilno, kar zagotavlja neprekinjeno in zanesljivo nanoskopsko natančnost pri proizvodnji čipov ter pomaga polprevodniški industriji, da preide na višjo raven procesov.
Čas objave: 14. april 2025