V natančnem svetu proizvodnje polprevodnikov je nedestruktivno testiranje rezin ključna povezava za zagotavljanje kakovosti čipov. Na videz nepomembna granitna podlaga je pravzaprav "neopevana junakinja", ki določa natančnost zaznavanja. Kako za vraga vpliva na rezultate testov? Ta članek bo izvedel poglobljeno analizo z vidika, kot so lastnosti materiala in strukturna zasnova.
1. Stabilna podlaga: Naravne prednosti granita postavljajo trdne temelje za natančnost
1. Odlična seizmična zmogljivost
Med delovanjem opreme za nedestruktivno testiranje rezin vrtenje motorja in gibanje mehanskih komponent povzročata vibracije. Če te vibracije niso učinkovito zadušene, bodo resno vplivale na natančnost testiranja. Notranjost granita je tesno prepletena z mineralnimi kristali, kot sta kremen in glinenec. Njegova edinstvena struktura mu daje naravno sposobnost absorpcije vibracij, ki lahko absorbira več kot 90 % energije vibracij opreme. Dejanski merilni podatki določenega proizvajalca polprevodnikov kažejo, da se je po uporabi granitne podlage amplituda vibracij detekcijske opreme zmanjšala z 12 μm na 2 μm, s čimer se učinkovito izognemo odstopanju detekcijskega signala, ki ga povzročajo vibracije.
2. Izjemno nizek koeficient toplotnega raztezanja
Med postopkom zaznavanja dejavniki, kot so segrevanje opreme in spremembe temperature okolja, vplivajo na stabilnost podnožja stroja. Navadni materiali se pri segrevanju znatno razširijo, vendar je koeficient toplotnega raztezanja granita le 1/5 koeficienta toplotnega raztezanja jekla. Tudi če temperatura okolice niha za 10 ℃, lahko njegovo deformacijo zanemarimo. To omogoča, da granitna podlaga zagotavlja stabilno referenčno platformo za inšpekcijsko opremo, kar zagotavlja, da relativni položaj med inšpekcijsko sondo in rezino ostane ves čas natančen, in preprečuje napake pri inšpekcijskem pregledu, ki jih povzroča toplotna deformacija.
Drugič, natančna zasnova: Strukturna optimizacija dodatno poveča zanesljivost zaznavanja
Visoko natančna obdelava in garancija ravnosti
Visokokakovostna granitna osnova je obdelana z napredno petosno CNC tehnologijo, z ravnostjo ±0,5 μm/m, kar zagotavlja ultra ravno referenco za namestitev inšpekcijske opreme. Pri inšpekcijskem pregledu rezin sta navpičnost in ravnost inšpekcijske sonde ključnega pomena za rezultate pregleda. Visoko natančna granitna osnova lahko zagotovi natančno pozicioniranje sonde, zaradi česar so podatki pregleda natančnejši in zanesljivejši.
2. Prilagojena strukturna prilagoditev
Granitne podstavke strojev je mogoče prilagoditi različni opremi za nedestruktivno testiranje rezin in zahtevam procesa. Na primer, za izpolnjevanje zahtev optične kontrolne opreme za odboj svetlobe je mogoče površino podstavka stroja posebej obdelati; za izpolnjevanje zahtev za namestitev ultrazvočne testne opreme je mogoče podstavek predhodno izdelati z natančnimi montažnimi luknjami in kabelskimi pladnji, kar omogoča hitro in natančno namestitev opreme ter zmanjšuje odstopanja pri zaznavanju zaradi napak pri namestitvi.
iii. Dolgoročna stabilnost: Zmanjšanje izgube natančnosti zaradi vzdrževanja opreme
Granit ima visoko trdoto in močno odpornost proti obrabi, z Mohsovo trdoto od 6 do 7, kar je trikrat večja od odpornosti proti obrabi kot navadno jeklo. Med dolgotrajnimi pregledi površina podnožja stroja ni nagnjena k obrabi in lahko vedno ohranja dobro natančnost. Nasprotno pa lahko podnožja iz drugih materialov zaradi obrabe povzročijo spremembe v namestitveni referenci opreme, kar vpliva na natančnost zaznavanja in zahteva pogosto kalibracijo in vzdrževanje. Dolga življenjska doba in visoka stabilnost granitnega podnožja učinkovito zmanjšata pogostost vzdrževanja opreme in zmanjšata tveganje za izgubo natančnosti, ki se lahko pojavi med postopkom vzdrževanja.
Od odpornosti na udarce in toplotno odpornosti do natančne zasnove, vsaka značilnost granitnega podstavka zagotavlja natančnost nedestruktivnega testiranja rezin. V današnji dobi proizvodnje polprevodnikov, ki si prizadeva za vrhunsko natančnost, je izbira visokokakovostnega granitnega podstavka kot dodajanje trdne plasti zavarovanja za natančnost in zanesljivost rezultatov testov.
Čas objave: 18. junij 2025