Na področju proizvodnje polprevodnikov je submikronska natančnost ključna za zagotavljanje zmogljivosti čipov, granitna osnova (ZHHIMG®) pa je s svojimi lastnostmi materiala, natančno obdelavo in inovativno zasnovo postala ključno zagotovilo za doseganje te natančnosti.
Z vidika lastnosti materiala ima črni granit, ki ga je izbral ZHHIMG®, gostoto približno 3100 kg/m³ in gosto notranjo strukturo. Ta visoka gostota mu daje izjemno stabilnost in togost. Med delovanjem polprevodniške opreme vrtenje motorjev in gibanje mehanskih komponent znotraj opreme ustvarjata vibracije. Granitna osnova lahko učinkovito absorbira več kot 90 % energije vibracij, kar znatno zmanjša vpliv vibracij na natančnost opreme. Hkrati pa izjemno nizek koeficient toplotnega raztezanja omogoča, da se deformacija ohranja v zelo majhnem območju, ko temperatura okolice niha, kar zagotavlja stabilno podlago za polprevodniško opremo in preprečuje premik komponent opreme zaradi temperaturnih sprememb, kar bi lahko vplivalo na natančnost.
Kar zadeva obdelavo in proizvodnjo, tovarna ZHHIMG® uporablja mednarodno napredno obdelovalno opremo in ima štiri super velike brusilne stroje (vsak stroj stane več kot 500.000 USD), ki lahko izvajajo visoko precizno brušenje granita. S petosno CNC obdelavo in drugimi postopki lahko ravnost podnožja stroja doseže nanometrsko raven, kar zagotavlja ultra ravno referenčno površino za namestitev polprevodniške opreme in natančno pozicioniranje vsake komponente opreme. Poleg tega delavnica s konstantno temperaturo in vlažnostjo (ki pokriva površino 10.000 kvadratnih metrov) zagotavlja stabilno okolje za obdelavo. 500 mm široki in 2000 mm globoki protivibracijski jarki okoli nje ter tihi žerjavi učinkovito izolirajo zunanje vibracijske motnje in zagotavljajo natančnost obdelave podnožja stroja.
Poleg tega ima ZHHIMG® tudi močno možnost prilagajanja. Za posebne zahteve polprevodniške opreme je mogoče vnaprej izdelati natančne montažne luknje in kabelske police, da se doseže popolna združljivost med opremo in podnožjem. Hkrati je podnožje stroja v kombinaciji z vrhunsko metrološko in preskusno opremo, kot sta nemški minutni merilnik Mahr (z natančnostjo 0,5 μm) in švicarska elektronska libela WYLER, strogo pregledano in kalibrirano, da se zagotovi, da lahko vsako podnožje stroja izpolnjuje stroge zahteve polprevodniške opreme glede natančnosti na submikronski ravni.
Prav kombinacija teh prednosti naredi granitno podlago ZHHIMG® zanesljivo izbiro za doseganje submikronske natančnosti v polprevodniški opremi, kar pomaga pri prehodu proizvodnje polprevodnikov na področja z višjo natančnostjo.
Čas objave: 18. junij 2025