IV industriji proizvodnje polprevodnikov je natančnost opreme za pregled rezin ključnega pomena za zagotavljanje kakovosti integriranih vezij. Visoko natančne granitne podlage strojev, kot so tiste, ki jih dobavlja ZHHIMG®, igrajo ključno vlogo pri izboljšanju delovanja takšne opreme. Takole je opisano, kako vplivajo na to.
Izjemna dimenzijska stabilnostGranit se ponaša z izjemno nizkim koeficientom toplotnega raztezanja, približno (4–8) × 10⁻⁶/℃, kar je bistveno manj kot pri mnogih kovinah. V strogo nadzorovanem okolju tovarn polprevodnikov, kjer lahko že manjša temperaturna nihanja povzročijo napake pri meritvah, granitne podlage strojev ostanejo stabilne. Ta stabilnost zagotavlja, da pozicioniranje komponent v opremi za pregled rezin ostane natančno, kar preprečuje kakršna koli odstopanja zaradi toplote, ki bi lahko vplivala na natančnost rezultatov pregleda.
Vrhunsko dušenje vibracijProizvodna tla so pogosto polna vibracij iz različnih virov. Granitne lastnosti dušenja z dušenjem od 0,05 do 0,1 učinkovito absorbirajo in razpršijo te vibracije. Za navdih pri rezinah
Pri uporabi granitnih podstavkov, ki zahtevajo visokoločljivostno slikanje in natančne odčitke senzorjev, je zmanjšanje vibracij neprecenljivo. Zmanjšuje motnje, ki bi lahko zameglile slike ali popačile podatke senzorjev, kar opremi omogoča zajemanje jasnih in natančnih informacij o površini in notranji strukturi rezine.
Visoka togost in odpornost proti obrabiZ gostoto približno 3100 kg/m³ ponujajo granitne podstavke strojev ZHHIMG® izjemno togost. Podpirajo lahko težke komponente opreme za pregled rezin, ne da bi se deformirale, in ohranjajo poravnavo optičnih in mehanskih sistemov. Poleg tega visoka trdota granita (Mohsova lestvica 6–7) in odlična odpornost proti obrabi zagotavljata, da površina podstavka stroja sčasoma ostane ravna in gladka. Ta doslednost je bistvena za dolgoročno natančnost, saj lahko vsaka obraba ali deformacija podstavka postopoma zmanjša natančnost opreme.
Kemijska inertnostProizvodnja polprevodnikov vključuje izpostavljenost različnim kemikalijam. Zaradi kemične inertnosti granita je odporen proti koroziji zaradi teh snovi. Ta lastnost varuje celovitost podnožja stroja in preprečuje poškodbe zaradi kemikalij, ki bi lahko vplivale na stabilnost in natančnost kontrolne opreme.
Skratka, visoko natančne granitne podstavke za stroje niso le sestavni del, temveč ključni dejavnik za doseganje strogih zahtev glede natančnosti opreme za pregled rezin. Pri izbiri granitnih podstavkov za stroje se odločite za zaupanja vredne ponudnike, kot je ZHHIMG®. Z več certifikati in zavezanostjo kakovosti ZHHIMG® zagotavlja, da vsak granitni podstavek za stroj zagotavlja zanesljivost in zmogljivost, potrebno za napredno proizvodnjo polprevodnikov.
Čas objave: 3. junij 2025