Na področjih, kot sta proizvodnja polprevodnikov in preciznih merilnih instrumentov, natančnost preciznih granitnih platform neposredno določa kakovost delovanja opreme. Da bi zagotovili, da natančnost platforme ustreza standardom, si je treba prizadevati z dveh vidikov: zaznavanje ključnih kazalnikov in skladnost s standardnimi normami.
Zaznavanje osrednjih indikatorjev: Večdimenzionalni nadzor natančnosti
Zaznavanje ravnosti: Določanje "ravnosti" referenčne ravnine
Ravnost je glavni kazalnik preciznih granitnih ploščadi in se običajno meri z laserskimi interferometri ali elektronskimi libelami. Laserski interferometer lahko natančno izmeri drobne neravnine na površini ploščadi z oddajanjem laserskega žarka in uporabo načela interference svetlobe, z natančnostjo, ki doseže submikronsko raven. Elektronska libela meri z večkratnim premikanjem in nariše tridimenzionalni konturni zemljevid površine ploščadi, da zazna, ali obstajajo kakšne lokalne izbokline ali vdolbine. Na primer, granitne ploščadi, ki se uporabljajo v polprevodniških fotolitografskih strojih, morajo imeti ravnost ±0,5 μm/m, kar pomeni, da višinska razlika na dolžini 1 metra ne sme presegati pol mikrometra. Ta strog standard je mogoče zagotoviti le z visoko natančno detekcijsko opremo.
2. Zaznavanje premosti: Zagotovite "premost" linearnega gibanja
Za platforme, ki imajo precizne gibljive dele, je ravnost ključnega pomena. Običajni metodi za zaznavanje sta žična metoda ali laserski kolimator. Žična metoda vključuje obešanje visoko preciznih jeklenih žic in primerjavo reže med površino platforme in jeklenimi žicami za določitev ravnosti. Laserski kolimator uporablja linearne značilnosti širjenja laserja za zaznavanje linearne napake namestitvene površine vodilne tirnice platforme. Če ravnost ne ustreza standardu, se bo oprema med premikanjem premikala, kar bo vplivalo na natančnost obdelave ali meritev.
3. Zaznavanje hrapavosti površine: Zagotovite "finost" stika
Hrapavost površine ploščadi vpliva na prileganje komponent. Za zaznavanje se običajno uporablja merilnik hrapavosti s pisalom ali optični mikroskop. Instrument s pisalom beleži spremembe višine mikroskopskega profila tako, da se s fino sondo dotakne površine ploščadi. Optični mikroskopi lahko neposredno opazujejo teksturo površine. Pri visoko natančnih aplikacijah je treba hrapavost površine granitnih ploščadi nadzorovati na Ra ≤ 0,05 μm, kar je enakovredno zrcalnemu učinku, s čimer se zagotovi tesno prileganje natančnih komponent med namestitvijo in preprečijo vibracije ali premike zaradi rež.
Standardi natančnosti sledijo: mednarodnim normam in notranjemu nadzoru podjetja
Trenutno se mednarodno kot osnova za določanje natančnosti granitnih ploščadi običajno uporabljata standarda ISO 25178 in GB/T 24632, obstajajo pa jasne klasifikacije za kazalnike, kot sta ravnost in premočrtnost. Poleg tega visokozmogljiva proizvodna podjetja pogosto postavljajo strožje standarde notranjega nadzora. Na primer, zahteva glede ravnosti granitne ploščadi fotolitografskega stroja je za 30 % višja od mednarodnega standarda. Pri izvajanju preskusov je treba izmerjene podatke primerjati z ustreznimi standardi. Le ploščadi, ki v celoti ustrezajo standardom, lahko zagotovijo stabilno delovanje precizne opreme.
Preverjanje natančnosti granitnih preciznih ploščadi je sistematičen projekt. Le s strogim testiranjem ključnih kazalnikov, kot so ravnost, premočrtnost in hrapavost površine, ter z upoštevanjem mednarodnih in podjetniških standardov je mogoče zagotoviti visoko natančnost in zanesljivost ploščadi, kar postavlja trdne temelje za vrhunska proizvodna področja, kot so polprevodniki in precizni instrumenti.
Čas objave: 21. maj 2025