Granit je eden najbolj priljubljenih materialov, ki se uporabljajo v polprevodniških napravah. Gre za vrsto trde, magmatske kamnine, ki je na voljo v različnih odtenkih sive, rožnate in bele barve. Granit je znan po svoji vzdržljivosti, nizkem koeficientu toplotnega raztezanja in odlični toplotni prevodnosti, zaradi česar je idealen material za uporabo v podsistemih polprevodniških naprav.
Eden od glavnih podsistemov, ki uporabljajo granit v polprevodniških napravah, je podsistem za ravnanje in obdelavo rezin. Ta podsistem igra ključno vlogo v proizvodnem procesu polprevodniških naprav. Rezina je začetni substrat za napravo, podsistem za ravnanje in obdelavo pa je odgovoren za prenos rezin med različnimi komorami in procesno opremo. Granit se uporablja za ustvarjanje zelo natančnih in ravnih površin za ravnanje z rezinami ter zagotavlja stabilno platformo za obdelavo rezin.
Drug kritičen podsistem, ki uporablja granit, je vakuumski podsistem. V polprevodniških napravah se vakuumske komore uporabljajo za preprečevanje kontaminacije med proizvodnjo. Da bi ta sistem deloval učinkovito, mora biti komora popolnoma zaprta, in tukaj pride prav granit. Granit je idealen material za vakuumske komore, saj ima zelo nizke stopnje sproščanja plinov in lahko vzdržuje stabilno vakuumsko okolje. Poleg tega visoka natančnost obdelave granita omogoča ustvarjanje popolnega tesnjenja, kar zagotavlja zanesljivo vakuumsko okolje za obdelavo rezin.
Podsistem poravnave je še en ključni sistem, ki izkorišča edinstvene lastnosti granita. Ta podsistem je odgovoren za natančno in natančno poravnavo različnih delov polprevodniških naprav. Granit se uporablja pri načrtovanju in izdelavi stopenj poravnave, da se zagotovi visoka togost in stabilnost. Visoka togost granita pomaga doseči visoko natančnost poravnave, kar vodi v proizvodnjo zelo natančnih in zanesljivih polprevodniških naprav.
Končno je metrološki podsistem še en sistem polprevodniških naprav, ki uporablja granit. Metrologija igra bistveno vlogo pri obdelavi rezin, natančnost tega podsistema pa je ključnega pomena za zagotavljanje kakovosti naprave. Granit zagotavlja stabilno in togo platformo, ki pomaga zmanjšati vibracije in zmanjšati učinek temperaturnih nihanj. To pa posledično pomaga pri doseganju zelo natančnih meritev v metrološkem podsistemu, kar vodi do proizvodnje visokokakovostnih polprevodniških naprav.
Skratka, granit je ključni material pri izdelavi polprevodniških naprav. Njegove edinstvene lastnosti, kot so visoka togost, nizek toplotni raztezek in odlična toplotna prevodnost, ga naredijo odličen material za več podsistemov v polprevodniških napravah, vključno z ravnanjem in obdelavo rezin, vakuumskim podsistemom, podsistemom poravnave in podsistemom metrologije. Poleg tega je uporaba granita v polprevodniških napravah pripomogla k proizvodnji zelo natančnih, zanesljivih in učinkovitih naprav, ki so preobrazile številne industrije.
Čas objave: 19. marec 2024