Granitne postelje so zelo prednost pri proizvodnji polprevodniške opreme zaradi odličnih lastnosti, kot so visoka dimenzijska stabilnost, visoka togost, nizka toplotna ekspanzija, dobra lastnost dušenja in velika odpornost na obrabo in abrazijo. Široko se uporabljajo v več kritičnih komponentah v industriji proizvodnje polprevodniške opreme, kot so pregledni sistemi rezin, sistemi za merjenje rezin, sistemi za ravnanje z režami in še več.
Sistemi za inšpekcijske rezine
Sistemi za inšpekcijske rezine uporabljajo granitne postelje, da zagotovijo stabilno in ravno površino za pregled polprevodniških rezin. Granitne postelje se uporabljajo kot odrska platforma, ki drži rezine, ki je pod pregledom. Ravnost in togost granitne postelje zagotavljata natančen pregled, hkrati pa zmanjšuje škodo ali kontaminacijo rezine. Granitne postelje pomagajo tudi zmanjšati učinke okoljskih vibracij in drugih zunanjih dejavnikov.
Sistemi za merjenje rezin
V sistemih za merjenje rezin je natančnost kritična. Granitne postelje se v ta namen pogosto uporabljajo zaradi svoje odlične dimenzijske stabilnosti. Zagotavljajo togo podlago za natančno merjenje značilnosti debeline, oblike in površin rezin. Granitne postelje so tudi odporne proti obrabi in odrgniji, zaradi česar so idealne za neprekinjeno uporabo v daljšem obdobju.
Sistemi za ravnanje z rezinami
Granitne postelje se uporabljajo tudi v sistemih za ravnanje z režami. V teh sistemih se granitne postelje uporabljajo kot natančen vodnik za namestitev rezin med postopkom ravnanja. Visoka togost in ravnanost granitnega postelja zagotavljata natančno in ponovljivo namestitev rezin, kar zmanjšuje tveganje za škodo.
Druge komponente
Poleg zgornjih komponent se granitne postelje uporabljajo tudi v drugih kritičnih delih proizvodnje polprevodniške opreme, kot so etape, podporne konstrukcije in drugi deli z visoko natančnostjo. Visoka dimenzijska stabilnost granitnih ležišč pomaga zmanjšati napake, ki jih povzročajo deformacija dela, toplotne spremembe in vibracije.
Zaključek
Za zaključek so granitne postelje kritična sestavina v proizvodnji polprevodniške opreme, saj ponujajo visoko dimenzijsko stabilnost, nizko toplotno širitev in odlično odpornost na obrabo in abrazijo. So bistveni za natančne, ponovljive in zanesljive zmogljivosti v sistemih za pregledovanje rezin, sistemih za merilne rezine, sistemih za ravnanje z režami in drugo visoko natančno opremo. Uporaba granitnih ležišč zagotavlja, da lahko proizvajalci polprevodniških opreme proizvajajo kakovostne izdelke, ki ustrezajo strogim standardom, ki jih zahteva sodobna polprevodniška industrija.
Čas objave: APR-03-2024