Granitni materiali se pogosto uporabljajo v polprevodniški industriji zaradi svojih odličnih lastnosti, kot so visoka stabilnost, nizek toplotni raztezek in visoka odpornost proti koroziji. Zaradi teh lastnosti je granit idealen material za izdelavo visoko natančnih komponent v sistemih za prenos rezin.
V procesu izdelave polprevodnikov ima sistem za prenos rezin ključno vlogo pri transportu rezin skozi različne faze proizvodnega procesa. Natančnost in točnost sta bistveni zahtevi za te sisteme, saj lahko že majhna odstopanja ogrozijo celoten proces. Zato morajo biti komponente v sistemu za prenos rezin izdelane iz visokokakovostnih materialov, granit pa izpolnjuje ta merila.
Nekateri deli sistema za prenos rezin, ki so izdelani iz granitnih materialov, vključujejo:
1. Miza vakuumske vpenjalne glave
Vakuumska vpenjalna miza se uporablja za držanje rezine med postopkom in mora imeti stabilno površino, da se rezina ne poškoduje. Granit je idealen material za izdelavo te mize, saj ima ravno, neporozno površino, ki zagotavlja visoko stabilnost in natančnost. Poleg tega ima granit nizek koeficient toplotnega raztezanja, zaradi česar je odporen na temperaturne spremembe, ki bi lahko povzročile dimenzijske spremembe rezine.
2. Stopnja zračnega ležaja
Zračno ležajna plošča se uporablja za transport rezine skozi različne faze proizvodnega procesa. Zasnovana je tako, da zagotavlja gibanje brez trenja, kar zahteva visoko natančnost in stabilnost. Granit se v tej aplikaciji uporablja, ker je tog in trd kamen, ki je sčasoma odporen na deformacije in obrabo.
3. Linearna vodila za gibanje
Linearna vodila se uporabljajo za vodenje zračnega ležaja in morajo biti natančno nameščena, da se zmanjšajo napake. Za izdelavo tega vodila se uporablja granit, ker ima odlično mehansko stabilnost in trdnost. Material je tudi odporen proti koroziji, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo vodilnega sistema.
4. Metrološka oprema
Metrološka oprema se uporablja za merjenje dimenzij in lastnosti rezin med proizvodnim procesom. Granit je idealen material za izdelavo te opreme, saj ima visoko togost, nizko raztezanje in minimalno deformacijo pod obremenitvijo. Poleg tega toplotna stabilnost granita zagotavlja, da metrološka oprema ostane stabilna in natančna skozi čas.
Skratka, polprevodniška industrija se zanaša na natančnost in točnost, granitni materiali pa so se v proizvodnem procesu izkazali za zelo zanesljive in stabilne. Ker številne kritične komponente v sistemu za prenos rezin zahtevajo visoko stabilnost, natančnost in nizko toplotno raztezanje, so se inženirji za izpolnitev teh kritičnih zahtev obrnili na granitne materiale.
Čas objave: 19. marec 2024