Granitni materiali se v polprevodniški industriji pogosto uporabljajo zaradi svojih odličnih značilnosti, kot so visoka stabilnost, nizka toplotna širitev in velika odpornost proti koroziji. Te lastnosti naredijo granit idealen material za gradnjo visoko natančnih komponent v sistemu prenosa rezin.
V procesu proizvodnje polprevodnikov ima sistem prenosa rezin ključno vlogo pri prevozu rezin v različnih fazah proizvodnega procesa. Natančnost in natančnost sta bistveni zahtevi za te sisteme, saj lahko celo rahla odstopanja ogrozita celoten postopek. Zato morajo biti komponente v sistemu prenosa rezin narejene iz kakovostnih materialov, granit pa izpolnjuje ta merila.
Nekateri deli sistema prenosa rezin, ki so narejeni iz granitnih materialov, vključujejo:
1. vakuumska tabela
Vakuumska tabela se uporablja za držanje rezin med postopkom in mora imeti stabilno površino, da zagotovi, da rezina ni poškodovana. Granit je idealen material za izdelavo te mize, saj ima ravno, neporozno površino, ki zagotavlja visoko stabilnost in natančnost. Poleg tega ima granit majhen koeficient toplotne ekspanzije, zaradi česar je odporen na temperaturne spremembe, ki bi lahko povzročile dimenzijske spremembe rezin.
2. faza zraka
Stopnja zraka se uporablja za prevoz rezin skozi različne faze proizvodnega procesa. Oder je zasnovan tako, da zagotavlja gibanje brez trenja, ki zahteva visoko natančnost in stabilnost. Granit se uporablja v tej aplikaciji, ker je tog in trdi kamen in se sčasoma upira deformaciji in obrabi.
3. Linearni vodniki gibanja
Linearni vodniki za gibanje se uporabljajo za vodenje faze zraka in jih je treba natančno namestiti, da se zmanjšajo napake. Granit se uporablja za izdelavo tega vodnika, ker ima odlično mehansko stabilnost in moč. Material je tudi odporen proti koroziji, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo vodilnega sistema.
4. merološka oprema
Merovna oprema se uporablja za merjenje dimenzij in lastnosti rezin med proizvodnim postopkom. Granit je idealen material za gradnjo te opreme, saj ima pod obremenitvijo visoko togost, nizko širitev in minimalno deformacijo. Poleg tega granitna toplotna stabilnost zagotavlja, da je merojska oprema sčasoma stabilna in natančna.
Na koncu se polprevodniška industrija opira na natančnost in natančnost, granitni materiali pa so se v proizvodnem procesu izkazali za zelo zanesljive in stabilne. S številnimi kritičnimi komponentami v sistemu prenosa rezin, ki zahtevajo visoko stabilnost, natančnost in nizko toplotno širitev, so se inženirji obrnili na granitne materiale, da bi izpolnili te kritične zahteve.
Čas objave: Mar-19-2024