Granitni materiali se pogosto uporabljajo v industriji polprevodnikov zaradi svojih odličnih lastnosti, kot so visoka stabilnost, nizko toplotno raztezanje in visoka odpornost proti koroziji.Zaradi teh lastnosti je granit idealen material za gradnjo visoko natančnih komponent v sistemu za prenos rezin.
V procesu izdelave polprevodnikov ima sistem za prenos rezin ključno vlogo pri transportu rezin po različnih stopnjah proizvodnega procesa.Natančnost in točnost sta bistveni zahtevi za te sisteme, saj lahko že majhna odstopanja ogrozijo celoten proces.Zato morajo biti komponente v sistemu za prenos rezin izdelane iz visokokakovostnih materialov in granit izpolnjuje ta merila.
Nekateri deli sistema za prenos rezin, ki so izdelani iz granitnih materialov, vključujejo:
1. Vakuumska vpenjalna miza
Vakuumska vpenjalna miza se uporablja za držanje rezine med postopkom in mora imeti stabilno površino, da se rezina ne poškoduje.Granit je idealen material za izdelavo te mize, saj ima ravno, neporozno površino, ki zagotavlja visoko stabilnost in natančnost.Poleg tega ima granit nizek koeficient toplotnega raztezanja, zaradi česar je odporen na temperaturne spremembe, ki bi lahko povzročile spremembe dimenzij v rezini.
2. Zračna stopnja
Stopnja z zrakom se uporablja za transport rezin skozi različne faze proizvodnega procesa.Stopnica je zasnovana tako, da zagotavlja gibanje brez trenja, kar zahteva visoko natančnost in stabilnost.V tej aplikaciji se uporablja granit, ker je tog in trd kamen ter se sčasoma upira deformacijam in obrabi.
3. Vodila linearnega gibanja
Vodila linearnega gibanja se uporabljajo za vodenje stopnje z zračnim ležajem in morajo biti natančno nameščena, da se zmanjšajo napake.Za izdelavo tega vodila je uporabljen granit, ker ima odlično mehansko stabilnost in trdnost.Material je tudi odporen proti koroziji, kar zagotavlja dolgo življenjsko dobo vodilnega sistema.
4. Meroslovna oprema
Meroslovna oprema se uporablja za merjenje dimenzij in lastnosti rezine med proizvodnim procesom.Granit je idealen material za izdelavo te opreme, saj ima visoko togost, majhno raztezanje in minimalno deformacijo pod obremenitvijo.Poleg tega toplotna stabilnost granita zagotavlja, da meroslovna oprema skozi čas ostane stabilna in točna.
Skratka, industrija polprevodnikov se zanaša na natančnost in točnost, granitni materiali pa so se izkazali za zelo zanesljive in stabilne v proizvodnem procesu.S številnimi kritičnimi komponentami v sistemu za prenos rezin, ki zahtevajo visoko stabilnost, natančnost in nizko toplotno raztezanje, so se inženirji za izpolnitev teh kritičnih zahtev obrnili na granitne materiale.
Čas objave: 19. marec 2024