Granitna postelja je pomembna sestavina v različnih polprevodniških napravah. Kot zelo stabilen in tog material se granit široko uporablja kot osnova za opremo za polprevodniško predelavo. Zanj so značilni nizki koeficient toplotne ekspanzije, visoka dimenzijska stabilnost in odlične mehanske lastnosti. Zaradi teh lastnosti se granitna ležišče najpogosteje uporablja v treh različnih vrstah polprevodniških naprav - meroslovje opreme, litografske opreme in inšpekcijske opreme.
Merojska oprema se uporablja za merjenje in zaznavanje kritičnih dimenzij polprevodniških naprav. Ima ključno vlogo pri ohranjanju kakovosti in doslednosti procesa proizvodnje polprevodnikov. Merojska oprema vključuje instrumente, kot so optični mikroskopi, elektronski mikroskopi in mikroskopi atomske sile (AFMS). Ker je zmogljivost teh merilnih instrumentov odvisna od njihove stabilnosti, natančnosti in vibracijske odpornosti, je granit idealna izbira za njihov posteljni material. Enotnost in stabilnost granitne postelje zagotavljata stabilno platformo za instrumente, ki povečuje njihovo natančnost in zanesljivost.
Litografska oprema se uporablja za izdelavo vzorcev mikročipov na rezini. Proces litografije zahteva visoko stopnjo natančnosti in natančnosti za ustvarjanje zapletenih vezij in izboljšanje zmogljivosti čipa. Oprema za litografijo vključuje sisteme koraka in skenerja, ki uporabljajo svetlobo za prenos slik na rezino. Ker je proces litografije zelo občutljiv na vibracije in toplotne spremembe, je kakovostno posteljo bistvenega pomena za zagotovitev stabilnosti in ponovljivosti procesa litografije. Granitne postelje zagotavljajo potrebno stabilnost in stroge vibracijske zmogljivosti za litografske sisteme. Granitna postelja omogoča sistemu koraka ali skenerja, da ohrani natančna prostorska razmerja, ki zagotavljajo visoko natančnost in končno kakovost izdelka.
Pregledna oprema se uporablja za odkrivanje napak v polprevodniških napravah. Pregledna oprema vključuje sisteme, kot so laserski skenirni mikroskopi, elektronski mikroskopi in optični mikroskopi. Granitne postelje, ki so zelo natančne, stabilne in odporne na vibracije, so zelo natančne, stabilne in vibracijske odporne. Mehanske lastnosti granita in dimenzijska stabilnost pomagajo pri izolaciji vibracij, kar poveča natančnost izhoda inšpekcijske opreme.
Za zaključek je granitna postelja ključnega pomena za polprevodniško industrijo in se pogosto uporablja v različnih vrstah opreme. Njegove edinstvene lastnosti, kot so dimenzijska stabilnost, nizki koeficient toplotne ekspanzije in odlična mehanska stabilnost, so granit idealna izbira za posteljni material polprevodniške opreme. Ker visokokakovostna granitna postelja zagotavlja potrebno stabilnost, natančnost in vibracijsko odpornost na polprevodniško opremo, na koncu izboljša kakovost končnega izdelka. Zato bo uporaba granitne postelje v polprevodniški opremi zagotovo nadaljevala še prihodnja leta.
Čas objave: APR-03-2024