Granitna podlaga je pomembna komponenta v različnih polprevodniških napravah. Kot zelo stabilen in tog material se granit pogosto uporablja kot osnova za opremo za obdelavo polprevodnikov. Zanj je značilen nizek koeficient toplotnega raztezanja, visoka dimenzijska stabilnost in odlične mehanske lastnosti. Zaradi teh lastnosti se granitna podlaga najpogosteje uporablja v treh različnih vrstah polprevodniških naprav – metrološki opremi, litografski opremi in opremi za pregledovanje.
Metrološka oprema se uporablja za merjenje in zaznavanje kritičnih dimenzij polprevodniških naprav. Igra ključno vlogo pri ohranjanju kakovosti in doslednosti procesa izdelave polprevodnikov. Metrološka oprema vključuje instrumente, kot so optični mikroskopi, elektronski mikroskopi in mikroskopi na atomsko silo (AFM). Ker je delovanje teh merilnih instrumentov odvisno od njihove stabilnosti, natančnosti in odpornosti na vibracije, je granit idealna izbira za material njihove podlage. Enakomernost in stabilnost granitne podlage zagotavljata stabilno platformo za instrumente, kar povečuje njihovo natančnost in zanesljivost.
Za izdelavo vzorcev mikročipov na rezini se uporablja litografska oprema. Postopek litografije zahteva visoko stopnjo natančnosti in točnosti za ustvarjanje kompleksnih vezij in izboljšanje delovanja čipa. Litografska oprema vključuje koračne in skenirne sisteme, ki uporabljajo svetlobo za prenos slik na rezino. Ker je litografski postopek zelo občutljiv na vibracije in toplotne spremembe, je visokokakovostna postelja bistvenega pomena za zagotovitev stabilnosti in ponovljivosti litografskega procesa. Granitne postelje zagotavljajo potrebno stabilnost in strogo dušenje vibracij za litografske sisteme. Granitna postelja omogoča, da koračni ali skenirni sistem vzdržuje natančne prostorske odnose, kar zagotavlja visoko natančnost in kakovost končnega izdelka.
Inšpekcijska oprema se uporablja za odkrivanje morebitnih napak v polprevodniških napravah. Inšpekcijska oprema vključuje sisteme, kot so laserski vrstični mikroskopi, elektronski mikroskopi in optični mikroskopi. Ker morajo biti te naprave zelo natančne, stabilne in odporne na vibracije, so granitne postelje idealen material. Mehanske lastnosti in dimenzijska stabilnost granita pomagajo pri izolaciji vibracij, kar poveča natančnost izhoda inšpekcijske opreme.
Skratka, granitna podlaga je ključnega pomena za polprevodniško industrijo in se pogosto uporablja v različnih vrstah opreme. Zaradi svojih edinstvenih lastnosti, kot so dimenzijska stabilnost, nizek koeficient toplotnega raztezanja in odlična mehanska stabilnost, je granit idealna izbira za material podlage polprevodniške opreme. Ker visokokakovostna granitna podlaga zagotavlja potrebno stabilnost, natančnost in odpornost proti vibracijam polprevodniške opreme, na koncu izboljša kakovost končnega izdelka. Zato se bo uporaba granitne podlage v polprevodniški opremi zagotovo nadaljevala še vrsto let.
Čas objave: 3. april 2024