V natančni verigi proizvodnje polprevodnikov je sistem za prenos rezin kot "rešilna bilka proizvodne linije čipov", njegova stabilnost in natančnost pa neposredno določata stopnjo izkoristka čipov. Nova generacija sistemov za prenos rezin revolucionarno združuje linearne motorje z granitnimi podlagami, edinstvene prednosti granitnih materialov pa so ravno ključna koda za odklepanje visokozmogljivega prenosa.
Granitna podlaga: Gradnja "trdnih temeljev" za stabilen prenos
Granit, ki je bil podvržen stotinam milijonov let geološkega izpopolnjevanja, ima gosto in enakomerno notranjo mineralno kristalizacijo. Zaradi te naravne lastnosti je idealen osnovni material za sisteme za prenos rezin. V kompleksnem okolju čistih prostorov za polprevodnike se granit z izjemno nizkim koeficientom toplotnega raztezanja (le 5–7 ×10⁻⁶/℃) lahko upre toploti, ki nastane med delovanjem opreme, in vplivu sprememb temperature okolja, kar zagotavlja stabilnost osnovne velikosti in preprečuje odstopanje prenosne poti zaradi toplotne deformacije. Njegova izjemna zmogljivost dušenja vibracij lahko hitro absorbira mehanske vibracije, ki nastanejo med zagonom, zaustavitvijo in pospeševanjem linearnih motorjev, pa tudi zunanje motnje, ki jih povzroča delovanje druge opreme v delavnici, kar zagotavlja stabilno platformo z "ničelnim tresenjem" za prenos rezin.
Medtem kemična stabilnost granita zagotavlja, da v polprevodniških delavnicah, kjer so kisli in alkalni reagenti hlapni in je potrebna visoka čistoča, ne korodira ali rjavi, s čimer se prepreči vpliv na natančnost prenosa zaradi staranja materiala ali adsorpcije onesnaževal. Gladke in goste površinske lastnosti lahko učinkoviteje zmanjšajo oprijem prahu, kar ustreza strogim standardom čistih prostorov brez prahu in odpravlja tveganje kontaminacije rezin iz korena.
Učinek "zlatega partnerstva" linearnih motorjev in granita
Linearni motorji, ki imajo značilnosti brez mehanske zračnosti pri prenosu, visokega pospeška in visoke odzivne hitrosti, dajejo prenosu rezin prednosti "hitrega, natančnega in stabilnega". Granitna osnova zagotavlja trdno in zanesljivo podporno platformo. Oboje deluje skupaj, da doseže skok v zmogljivosti. Ko linearni motor poganja nosilec rezin, da teče po tirnici granitne osnove, močna togost in stabilnost osnove zagotavljata učinkovit prenos pogonske sile motorja, s čimer se izognemo izgubi sile ali zakasnitvi prenosa zaradi deformacije osnove.
Zaradi povpraševanja po nanoskopski natančnosti lahko linearni motorji dosežejo nadzor premikov na submikronski ravni. Visoko natančne obdelovalne značilnosti granitnih podstavkov (z napakami ravnosti, nadzorovanimi znotraj ±1 μm) se popolnoma ujemajo z natančnim krmiljenjem linearnih motorjev, kar skupaj zagotavlja, da je napaka pozicioniranja med prenosom rezin manjša od ±5 μm. Ne glede na to, ali gre za hitro premikanje med različno procesno opremo ali natančno parkiranje za predajo rezin, lahko kombinacija linearnih motorjev in granitnih podstavkov zagotovi "ničelno odstopanje in ničelno tresenje" pri prenosu rezin.
Preverjanje industrijske prakse: Dvojno izboljšanje učinkovitosti in stopnje donosa
Po nadgradnji sistema za prenos rezin je vodilno svetovno podjetje za polprevodnike sprejelo rešitev z linearnim motorjem in granitno osnovo, ki je povečala učinkovitost prenosa rezin za 40 %, zmanjšala stopnjo napak, kot so trki in odmiki med postopkom prenosa, za 85 % in izboljšala skupni izkoristek čipov za 6 %. Za temi podatki stoji jamstvo za stabilnost prenosa, ki ga zagotavlja granitna osnova, ter sinergijski učinek visoke hitrosti in natančnosti linearnega motorja, ki znatno zmanjša izgube in napake med postopkom prenosa rezin.
Od lastnosti materialov do natančne izdelave, od prednosti delovanja do praktičnega preverjanja, je kombinacija linearnih motorjev in granitnih podstavkov na novo opredelila standarde sistemov za prenos rezin. V prihodnosti, ko se bo polprevodniška tehnologija razvila v 3nm in 2nm postopke, bodo granitni materiali s svojimi nenadomestljivimi prednostmi zagotovo še naprej močno spodbujali razvoj industrije.
Čas objave: 14. maj 2025