Granit je vrsta trde kamnine, ki je postala nepogrešljiv material v industriji proizvodnje polprevodnikov. Zaradi svojih lastnosti lahko prenese visoke temperature, zaradi česar je idealen za uporabo v različnih fazah proizvodnih procesov polprevodniških naprav. Posledično je granit našel široko področje uporabe v izdelkih za proizvodnjo polprevodniških naprav.
Ena najpogosteje uporabljenih aplikacij sestavljanja granita je pri izdelavi visoko preciznih struktur obdelovalnih strojev. Togost in stabilnost granita omogočata izdelavo natančnih in točnih orodij z malo ali nič deformacije. Ta raven natančnosti je potrebna v procesih izdelave polprevodnikov, kot je ionska implantacija, kjer je treba žarek natančno usmeriti na rezino.
Druga uporaba granitnih plošč v proizvodnji polprevodnikov je pri izdelavi metrološke opreme. Metrološka oprema je ključnega pomena v procesih izdelave polprevodnikov, saj meri in preverja natančnost izdelanih naprav. Zaradi dimenzijske stabilnosti granita, nizkega toplotnega raztezanja in odličnih lastnosti dušenja vibracij je to material izbire pri izdelavi metrološke opreme. To vključuje velike granitne površine, ki se uporabljajo pri pripravi in pregledu rezin.
Optične mize so še eno področje široke uporabe granitnih konstrukcij v polprevodniški industriji. Optične mize se uporabljajo pri testiranju optičnih naprav, kot so valovodniki za podatkovno komunikacijo. Ploskost, nizek toplotni raztezek, visoka togost in mehanska stabilnost granita omogočajo, da zagotavlja zelo stabilno površino za montažo in pozicioniranje optike. Granitne optične mize lahko zagotovijo stabilnost in togost, potrebno za natančno in precizno testiranje optičnih naprav.
Granit se uporablja tudi pri izdelavi vpenjalnih glav in podstavkov za rezine. Med postopkom izdelave polprevodnikov sta ključnega pomena natančna poravnava in nadzor položaja. Vpenjalne glave za rezine, ki med obdelavo držijo rezine na mestu, morajo ohranjati natančnost položaja, hkrati pa prenašati visoke temperature in vakuumske pogoje. Granit ima odlično dimenzijsko stabilnost v širokem temperaturnem območju in lahko prenese vakuumske pogoje, zaradi česar je idealen za izdelavo vpenjalnih glav za rezine. Podstavki, ki se uporabljajo pri premikanju rezin z enega položaja na drugega, med postopkom izdelave polprevodnikov potekajo skozi ciklično zaporedje gibov. Granitna sestava zagotavlja stabilnost in vzdržljivost, ki sta potrebni za prenašanje neprekinjenih in ponavljajočih se ciklov gibanja.
Skratka, uporaba granitnih konstrukcij v industriji proizvodnje polprevodnikov je obsežna. Zaradi svojih lastnosti, kot so dimenzijska stabilnost, nizek toplotni raztezek, visoka togost in dušenje vibracij, je idealen material za uporabo v različnih fazah proizvodnih procesov polprevodniških naprav. Od izdelave visoko natančnih obdelovalnih strojev in metrološke opreme do optičnih miz ter stopenj za rezine in vpenjalnih vpenjal imajo lastnosti granita ključno vlogo pri zagotavljanju stabilnosti, natančnosti in ponovljivosti, potrebnih za doseganje visokokakovostne izdelave polprevodniških naprav.
Čas objave: 6. dec. 2023