Proizvodnja polprevodnikov: V procesu izdelave čipov mora fotolitografski postopek natančno prenesti vzorec vezja na rezino. Granitna osnova enoosnega zračno plavajočega ultra preciznega gibalnega modula lahko zagotovi visoko natančno pozicioniranje in stabilno oporo za mizo rezin v litografski opremi. Na primer, ASML in drugi mednarodno priznani proizvajalci litografskih strojev v svoji vrhunski opremi uporabljajo zračno plavajoče gibalne module z granitno osnovo, ki lahko nadzorujejo natančnost pozicioniranja rezine na nanometrski ravni, da zagotovijo natančnost litografskega vzorca, s čimer izboljšajo integracijo in delovanje čipa.
Področje preciznih meritev: KMS je precizna merilna oprema, ki se pogosto uporablja v industrijski proizvodnji in se uporablja za merjenje velikosti, oblike in natančnosti položaja obdelovanca. Ultra precizni modul gibanja enoosnega zračnega plovca na granitnem podstavku se lahko uporablja kot platforma za gibanje KMS-ja, ki lahko doseže visoko natančno linearno gibanje in zagotavlja stabilno trajektorijo gibanja merilne sonde. Na primer, vrhunski KMS podjetja Hexagon uporablja to kombinacijo za merjenje velikih in kompleksnih delov z natančnostjo merjenja do mikronske ravni, kar zagotavlja močno jamstvo za nadzor kakovosti delov v avtomobilski, letalski in vesoljski industriji ter drugih industrijah.
Letalsko in vesoljsko področje: Pri obdelavi in testiranju letalskih delov je potrebna visoka natančnost. Na primer, obdelava lopatic letalskih motorjev zahteva natančen nadzor trajektorije gibanja orodja, da se zagotovi natančnost profila lopatice. Granitna osnova enoosnega ultra preciznega modula za gibanje z zračnim plavajočim motorjem se lahko uporabi v petosnem obdelovalnem centru in drugi opremi, da se zagotovi visoko natančen nadzor gibanja orodja in zagotovi, da natančnost obdelave lopatice ustreza konstrukcijskim zahtevam. Hkrati je pri sestavljanju letalskega motorja potrebna tudi uporaba visoko natančne merilne opreme za zaznavanje natančnosti sestavljanja delov. Modul za gibanje z zračnim plavajočim motorjem granitne osnove lahko zagotovi stabilno oporo in natančno gibanje merilne opreme, da se zagotovi kakovost sestavljanja.
Področje optičnega pregleda: V procesu izdelave in testiranja optičnih komponent je potrebno izvajati visoko natančno pozicioniranje in merjenje optičnih komponent. Na primer, pri izdelavi visoko preciznih optičnih komponent, kot so ogledala in leče, je treba uporabiti interferometre in drugo opremo za zaznavanje natančnosti oblike površine. Granitna podlaga enoosnega zračno plavajočega ultra preciznega gibalnega modula se lahko uporabi kot gibalna platforma interferometra, ki lahko doseže submikronsko natančnost pozicioniranja in zagotovi natančno podatkovno podporo za zaznavanje optičnih komponent. Poleg tega je v opremi za lasersko obdelavo potrebno uporabiti tudi visoko precizno gibalno platformo za nadzor poti skeniranja laserskega žarka, granitna podlaga zračno plavajočega gibalnega modula pa lahko izpolni to zahtevo za doseganje visoko precizne laserske obdelave.
Čas objave: 7. april 2025