Na področju vrhunske proizvodnje in najsodobnejših znanstvenih raziskav je precizna platforma za plavajoče gibanje s statičnim tlakom in zrakom ključna oprema za doseganje ultra preciznega delovanja. Granitna precizna podlaga je osrednji podporni del platforme, njena zmogljivost pa je tesno povezana z delovnim okoljem. Razumevanje in izpolnjevanje teh okoljskih zahtev ne zagotavlja le visoko preciznega delovanja platforme, temveč je tudi pomemben del podjetja za povečanje njegove konkurenčnosti na sorodnih področjih, kar je podrobneje opisano v nadaljevanju.
1. Temperatura: natančen nadzor za zagotavljanje dimenzijske stabilnosti
Čeprav je granit znan po svoji stabilnosti, njegov koeficient toplotnega raztezanja ni nič in majhne temperaturne spremembe lahko še vedno vplivajo na njegovo dimenzijsko natančnost. Na splošno je koeficient toplotnega raztezanja granita 5–7 × 10⁻⁶/℃. Pri uporabi precizne statične zračne lebdeče platforme se ta majhna sprememba poveča s platformo, kar lahko povzroči odstopanje od natančnosti gibanja. Na primer, pri postopku izdelave polprevodniških čipov, pri postopku litografije, ki zahteva natančnost pozicioniranja na ravni Danami, lahko pri nihanju temperature okolice za 1 °C na dolžini stranice 1 metra granitne podlage povzroči 5–7 mikronov linearnega raztezanja ali krčenja, kar je dovolj, da odstopanje vzorca litografije čipa zmanjša izkoristek. Zato je treba pri precizni statični zračni lebdeči platformi, opremljeni z granitno natančno podlago, idealno delovno temperaturo strogo nadzorovati pri 20 °C ± 1 °C. Podjetja lahko namestijo visoko precizni sistem klimatizacije s konstantno temperaturo, ki nenehno spremlja in natančno prilagaja temperaturo okolice ter ohranja stabilnost velikosti granitne podlage in zagotavlja visoko natančno delovanje platforme.
2. vlažnost: razumen nadzor, zaščita osnovne zmogljivosti
Vlažnost ima tudi pomemben vpliv na precizne granitne podlage. V okolju z visoko vlažnostjo granit zlahka absorbira vodno paro, zaradi česar se na površini lahko nabira kondenz, kar ne le ovira normalno delovanje sistema za zračno flotacijo, temveč povzroči tudi dolgotrajno erozijo granitne površine, kar zmanjša njeno natančnost in življenjsko dobo. Na primer, v delavnici za brušenje optičnih leč, kjer je vlažnost dalj časa višja od 60 % relativne vlažnosti, bo vodna para, adsorbirana na površini granitne podlage, uničila enakomernost filma zračnega flotiranja, kar bo povzročilo zmanjšanje natančnosti brušenja leč in površinske napake. Zato je treba relativno vlažnost delovnega okolja nadzorovati med 40 % in 60 % relativne vlažnosti. Podjetja lahko uporabljajo razvlažilnike zraka, senzorje vlažnosti in drugo opremo za spremljanje in nadzor vlažnosti v realnem času, ustvarjanje ustreznega vlažnega okolja za precizno granitno podlago in zagotavljanje stabilnega delovanja precizne platforme za lebdenje s statičnim tlakom zraka.
3. čistoča: strogo nadzorujte, odpravite motnje delcev
Prašni delci so "sovražnik" precizne platforme za lebdeče gibanje s statičnim tlakom zraka in močno škodujejo precizni granitni podlagi. Ko drobni delci vstopijo v režo plinskega filma med drsnikom plinskega plovca in granitno podlago, lahko uničijo enakomernost plinskega filma, povečajo trenje in celo opraskajo površino podlage, kar resno vpliva na natančnost gibanja platforme. V ultra precizni delavnici za obdelavo letalskih in vesoljskih delov se lahko pot gibanja obdelovalnega orodja, če delci prahu v zraku padejo na granitno podlago, odkloni, kar vpliva na natančnost obdelave delov. Zato je treba delovno območje vzdrževati visoko čisto in doseči standard čistoče 10.000 ali celo višje. Podjetja lahko filtrirajo prašne delce v zraku z namestitvijo visoko učinkovitih zračnih filtrov (HEPA) in od osebja zahtevajo nošenje oblačil brez prahu, prevlek za čevlje itd., da zmanjšajo prah, ki ga prinašajo ljudje, in ohranijo visoko precizno delovno okolje granitne podlage in precizne platforme za lebdeče gibanje s statičnim tlakom zraka.
4. Vibracije: Učinkovita izolacija za ustvarjanje gladkega prostora
Zunanje vibracije bodo resno vplivale na natančnost precizne statično tlačne zračne plavajoče ploščadi, čeprav ima precizna granitna osnova določeno zmogljivost dušenja vibracij, lahko vibracije visoke jakosti še vedno presežejo njeno mejo. Vibracije, ki jih povzroča promet okoli tovarne in delovanje velike mehanske opreme, se prenašajo na granitno osnovo skozi tla, kar bo vplivalo na natančnost gibanja ploščadi. Pri visokokakovostnih koordinatnih merilnih strojih (CMM) lahko vibracije povzročijo nestabilen stik med merilno sondo in obdelovancem, ki ga je treba izmeriti, kar povzroči odstopanje merilnih podatkov. Da bi rešili to težavo, je treba sprejeti učinkovite ukrepe za izolacijo vibracij, kot so polaganje blazinic za izolacijo vibracij na območju namestitve opreme, izgradnja temeljev za izolacijo vibracij ali uporaba aktivnega sistema za izolacijo vibracij za aktivno uravnavanje zunanjih vibracij ter ustvarjanje mirnega in stabilnega delovnega okolja za precizno granitno osnovo in precizno statično tlačno zračno plavajočo platformo.
Izpolnjevanje zgornjih okoljskih zahtev omogoča, da se v celoti izkoristijo prednosti granitne precizne podlage v precizni platformi za lebdeče gibanje s statičnim tlakom zraka, da se zagotovi, da platforma zagotavlja visoko precizne in visoko stabilne storitve krmiljenja gibanja za različne panoge. Če bodo podjetja v proizvodnem okolju pozorna na te podrobnosti, bodo izkoristila priložnost v precizni proizvodnji, znanstvenih raziskavah in drugih področjih, povečala svojo konkurenčnost in dosegla trajnostni razvoj.
Čas objave: 10. april 2025