Granit se že vrsto let pogosto uporablja pri proizvodnji in oblikovanju polprevodniške opreme. To je posledica odličnih lastnosti, zaradi česar je idealen material za številne aplikacije. Granit je zelo odporen proti obrabi, koroziji in toplotni udarci, zaradi česar je primeren za uporabo v težkih okoljih. V tem članku bomo razpravljali o nekaterih skupnih aplikacijah granita v polprevodniški opremi.
1. merološka oprema
Merovna oprema se uporablja za merjenje dimenzij in lastnosti polprevodniških naprav. Granit se pogosto uporablja kot osnova za takšno opremo zaradi svoje visoke dimenzijske stabilnosti. Ravnost in natančnost granitne površine zagotavljata idealno referenco za natančne meritve. Poleg tega granitna toplotna stabilnost zmanjšuje tveganje za dimenzijske spremembe zaradi temperaturnih sprememb.
2. optična oprema
Granit se uporablja tudi v optični opremi, kot so litografski stroji, ki se uporabljajo pri izdelavi polprevodniških naprav. Granitna baza zagotavlja stabilno platformo za visoko natančno optiko, ki se uporablja v teh strojih. Odlične lastnosti dušenja vibracij granita prav tako pomagajo zmanjšati vibracije, ki lahko vplivajo na zmogljivost in natančnost optike.
3. Oprema za obdelavo rezin
Polprevodniška obdelava rezin vključuje več korakov, vključno s čiščenjem, jedšenjem in odlaganjem. Granit se uporablja v več sestavnih delih opreme za predelavo rezin. Na primer, granit se uporablja kot substrat za opremo za nalaganje kemičnih hlapov (CVD), ki se uporablja za odlaganje tankih filmov na silicijeve rezine. Granit se uporablja tudi pri gradnji jedkanic in drugih procesnih žil, kjer sta njen odlični kemični odpornost in dimenzijska stabilnost bistvenega pomena.
4. preskusna oprema
Preskusna oprema se uporablja za preverjanje zmogljivosti in kakovosti polprevodniških naprav. Granit se zaradi visoke togosti in stabilnosti pogosto uporablja kot osnova za preskusno opremo. Granit ponuja nemagnetno in neprevodno platformo, ki odpravlja motnje v občutljivo opremo za testiranje. Ravnost in natančnost granitne površine omogočata zelo natančne rezultate preskusov.
Zaključek
Za zaključek je Granit pomemben material pri oblikovanju in izdelavi opreme za polprevodnike. Njegove odlične lastnosti, vključno z dimenzijsko stabilnostjo, toplotno stabilnostjo, kemično odpornostjo in dušenjem vibracij, so idealen material za številne aplikacije. Granit se uporablja v več kritičnih komponentah polprevodniške opreme, vključno z merološko opremo, optično opremo, opremo za predelavo rezin in preskusno opremo. Ker povpraševanje po hitrejših, manjših in močnejših polprevodniških napravah še naprej raste, bo uporaba granita v polprevodniški opremi verjetno ostala bistvena.
Čas objave: APR-08-2024