Granit se že vrsto let pogosto uporablja pri izdelavi in načrtovanju polprevodniške opreme. To je posledica njegovih odličnih lastnosti, zaradi katerih je idealen material za številne aplikacije. Granit je zelo odporen proti obrabi, koroziji in toplotnim šokom, zaradi česar je primeren za uporabo v zahtevnih okoljih. V tem članku bomo obravnavali nekatere pogoste uporabe granita v polprevodniški opremi.
1. Metrološka oprema
Metrološka oprema se uporablja za merjenje dimenzij in lastnosti polprevodniških naprav. Granit se zaradi svoje visoke dimenzijske stabilnosti pogosto uporablja kot osnova za takšno opremo. Ravnost in natančnost granitne površine zagotavljata idealno referenco za natančne meritve. Poleg tega termična stabilnost granita zmanjšuje tveganje dimenzijskih sprememb zaradi temperaturnih nihanj.
2. Optična oprema
Granit se uporablja tudi v optični opremi, kot so litografski stroji, ki se uporabljajo pri izdelavi polprevodniških naprav. Granitna osnova zagotavlja stabilno platformo za visoko precizno optiko, ki se uporablja v teh strojih. Odlične lastnosti blaženja vibracij granita pomagajo tudi zmanjšati vibracije, ki lahko vplivajo na delovanje in natančnost optike.
3. Oprema za predelavo rezin
Obdelava polprevodniških rezin vključuje več korakov, vključno s čiščenjem, jedkanjem in nanašanjem. Granit se uporablja v več komponentah opreme za obdelavo rezin. Granit se na primer uporablja kot substrat za opremo za kemično nanašanje iz pare (CVD), ki se uporablja za nanašanje tankih filmov na silicijeve rezine. Granit se uporablja tudi pri izdelavi jedkalnih komor in drugih procesnih posod, kjer sta njegova odlična kemična odpornost in dimenzijska stabilnost bistvenega pomena.
4. Preskusna oprema
Preskusna oprema se uporablja za preverjanje delovanja in kakovosti polprevodniških naprav. Granit se zaradi svoje visoke togosti in stabilnosti pogosto uporablja kot osnova za preskusno opremo. Granit zagotavlja nemagnetno in neprevodno platformo, ki odpravlja motnje pri občutljivi preskusni opremi. Ravnost in natančnost granitne površine omogočata zelo natančne rezultate preskusov.
Zaključek
Skratka, granit je pomemben material pri načrtovanju in izdelavi polprevodniške opreme. Zaradi svojih odličnih lastnosti, vključno z dimenzijsko stabilnostjo, toplotno stabilnostjo, kemično odpornostjo in dušenjem vibracij, je idealen material za številne aplikacije. Granit se uporablja v več ključnih komponentah polprevodniške opreme, vključno z metrološko opremo, optično opremo, opremo za obdelavo rezin in testno opremo. Ker povpraševanje po hitrejših, manjših in zmogljivejših polprevodniških napravah še naprej narašča, bo uporaba granita v polprevodniški opremi verjetno ostala bistvena.
Čas objave: 8. april 2024