♦ Alumina (al2O3)
Natančne keramične dele, ki jih je ustvarila inteligentna proizvodna skupina Zhonghui (ZHHIMG), je lahko izdelana iz visoko čistosti keramičnih surovin, 92 ~ 97% glinice, 99,5% glinice,> 99,9% glinice in hladnega isostatičnega stiskanja. Visoko temperaturno sintranje in natančna obdelava, dimenzijska natančnost ± 0,001 mm, gladkost do RA0.1, uporabljajo temperaturo do 1600 stopinj. Različne barve keramike so lahko izdelane v skladu z zahtevami kupcev, kot so: črna, bela, bež, temno rdeča itd. Natančni keramični deli, ki jih proizvaja naše podjetje, so odporni na visoko temperaturo, korozijo, obrabo in izolacijo in jih lahko dolgo uporabljamo v visokem temperaturi, vakuumu in korozivnem plinskem okolju.
Široko se uporablja v različnih napravah za proizvodnjo polprevodnikov: okvirji (keramični nosilec), substrat (osnova), rok/ most (manipulator) ,, mehanske komponente in keramični zračni ležaj.
Ime izdelka | Visoka čistost 99 Alumina Keramična kvadratna cev / cev / palica | |||||
Indeks | Enota | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Gostota | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorpcija vode | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Sinana temperatura | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Trdota | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Trdnost upogiba (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Tlačna trdnost | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Dolgo delovna temperatura | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max. Delovna temperatura | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumna upornost | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Uporaba keramike glinice z visoko čistostjo:
1. nanese se na polprevodniško opremo: keramični vakuumski chuck, rezalni disk, čistilni disk, keramični chuck.
2. Deli prenosa rezin: rezine rezine, rezalni diski, diski za čiščenje rezin, rezine za optične preglede sesalne skodelice.
3. LED / LCD Ravna plošča industrija: keramična šoba, keramični brusni disk, dvižni zatič, zatič.
4. Optična komunikacija, sončna industrija: keramične cevi, keramične palice, vezje zaslona za tiskanje keramičnih strgalnikov.
5. Toplotno odporni in električno izolacijski deli: keramični ležaji.
Trenutno lahko aluminijevo oksidno keramiko razdelimo na visoko čistost in skupno keramiko. Serija keramike z visoko čistostjo aluminijevega oksida se nanaša na keramični material, ki vsebuje več kot 99,9% al₂o₃. Zaradi temperature sintranja do 1650 do 1990 ° C in prenosne valovne dolžine 1 ~ 6 μm ga običajno predelamo v spojen steklo namesto platinastega lončka: ki se lahko zaradi natrijeve cevi uporabi zaradi svoje lahke prepustnosti in korozijske odpornosti na kovino alkalijske kovine. V industriji elektronike se lahko uporablja kot visokofrekvenčni izolacijski material za IC substrate. Glede na različne vsebine aluminijevega oksida lahko skupno aluminijevo oksidno keramično serijo razdelimo na 99 keramike, 95 keramike, 90 keramike in 85 keramike. Včasih je keramika z 80% ali 75% aluminijevega oksida tudi razvrščena kot običajna keramična serija aluminijevega oksida. Med njimi se 99 aluminijevega oksidnega keramičnega materiala uporablja za proizvodnjo visokotemperaturnega lončka, ognjene peči in posebne materiale, odporne proti obrabi, kot so keramični ležaji, keramični tesnili in plošče ventila. 95 aluminijasta keramika se uporablja predvsem kot del, odporen proti koroziji. 85 keramika se v nekaterih lastnostih pogosto meša, s čimer izboljša električno delovanje in mehansko trdnost. Uporablja lahko molibden, Niobium, Tantalum in druga kovinska tesnila, nekatere pa se uporabljajo kot električne vakuumske naprave.
Kakovostna postavka (reprezentativna vrednost) | Ime izdelka | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | Al-31-03 | |
Kemična sestava z nizkim natrijevim lahkim sintranjem izdelka | H₂o | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Srednji premer delcev (MT-3300, metoda laserske analize) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α kristalna velikost | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Oblikovanje gostote ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Gostota sintranja ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Krčenje hitrosti sintranja ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO ni vključen v izračun čistosti al₂o₃.
* Brez skaliranja v prahu 29,4MPa (300kg/cm²), temperatura sintranja je 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Dodajte 0,05 ~ 0,1% MgO, sintralnost je odlična, zato je uporabna za keramiko aluminijevega oksida s čistostjo več kot 99%.
AES-22S: Za katero je značilna visoka oblikovana gostota in nizka stopnja krčenja sintranja, je uporabna za vlivanje oblike in druge obsežne izdelke z zahtevano dimenzijsko natančnostjo.
AES-23 / AES-31-03: ima večjo gostoto, tiksotropijo in nižjo viskoznost kot AES-22. Prva se uporablja za keramiko, medtem ko se slednji uporablja kot reduktor vode za ognjevalne materiale, kar pridobiva na priljubljenosti.
♦ Značilnosti silicijevega karbida (sic)
Splošne značilnosti | Čistost glavnih komponent (mas.%) | 97 | |
Barva | Črn | ||
Gostota (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorpcija vode (%) | 0 | ||
Mehanske značilnosti | Upogibna moč (MPA) | 400 | |
Mladi modul (GPA) | 400 | ||
Trdota Vickers (GPA) | 20 | ||
Toplotne značilnosti | Največja delovna temperatura (° C) | 1600 | |
Koeficient toplotne ekspanzije | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Toplotna prevodnost (w/m x k) | 130 110 | ||
Termični udarni upor ΔT (° C) | 300 | ||
Električne značilnosti | Volumna upornost | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Dielektrična konstanta | 10GHz | - | |
Dielektrična izguba (x 10-4) | - | ||
Q Faktor (x 104) | - | ||
Dielektrična razčlenjena napetost (kV/mm) | - |
♦ Keramika iz silicijevega nitrida
Material | Enota | Si₃n₄ |
Metoda sintranja | - | Sintra s tlakom plina |
Gostota | g/cm³ | 3.22 |
Barva | - | Temno siva |
Hitrost absorpcije vode | % | 0 |
Mladi modul | GPA | 290 |
Trdota Vickers | GPA | 18 - 20 |
Tlačna trdnost | MPA | 2200 |
Upogibna moč | MPA | 650 |
Toplotna prevodnost | W/mk | 25 |
Termični šok odpornost | Δ (° C) | 450 - 650 |
Najvišja delovna temperatura | ° C. | 1200 |
Volumna upornost | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrična konstanta | - | 8.2 |
Dielektrična moč | kV/mm | 16 |