♦Aluminijev oksid (Al2O3)
Precizni keramični deli, ki jih proizvaja ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), so lahko izdelani iz visoko čistih keramičnih surovin, 92~97 % aluminijevega oksida, 99,5 % aluminijevega oksida, >99,9 % aluminijevega oksida in CIP hladnega izostatičnega stiskanja. Visokotemperaturno sintranje in natančna obdelava, dimenzijska natančnost ± 0,001 mm, gladkost do Ra0,1, uporabna temperatura do 1600 stopinj. Različne barve keramike so na voljo glede na zahteve strank, kot so: črna, bela, bež, temno rdeča itd. Precizni keramični deli, ki jih proizvaja naše podjetje, so odporni na visoke temperature, korozijo, obrabo in izolacijo ter se lahko dolgo časa uporabljajo v okolju z visoko temperaturo, vakuumom in korozivnimi plini.
Široko se uporablja v različni opremi za proizvodnjo polprevodnikov: okvirji (keramični nosilec), podlaga (osnova), roka/most (manipulator), mehanske komponente in keramični zračni ležaji.
Ime izdelka | Visoko čista 99 aluminijeva keramična kvadratna cev / cev / palica | |||||
Kazalo | Enota | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Gostota | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3,8 | 3,9 | |
Absorpcija vode | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura sintranja | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Trdota | Mohsova | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Upogibna trdnost (20 ℃)) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Tlačna trdnost | kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Dolgotrajna delovna temperatura | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks. delovna temperatura | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumenska upornost | 20℃ | Ω cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Uporaba visoko čiste aluminijeve keramike:
1. Uporablja se za polprevodniško opremo: keramična vakuumska vpenjalna glava, rezalni disk, čistilni disk, keramična vpenjalna glava.
2. Deli za prenos rezin: vpenjalne glave za rezine, diski za rezine, diski za čiščenje rezin, priseski za optični pregled rezin.
3. Industrija ploščatih LED/LCD zaslonov: keramična šoba, keramični brusilni disk, DVIGALO, PIN tirnica.
4. Optična komunikacija, sončna industrija: keramične cevi, keramične palice, keramična strgala za sitotisk tiskanih vezij.
5. Toplotno odporni in električno izolacijski deli: keramični ležaji.
Trenutno lahko aluminijevo oksidno keramiko razdelimo na visoko čisto in običajno keramiko. Serija visoko čiste aluminijeve oksidne keramike se nanaša na keramični material, ki vsebuje več kot 99,9 % Al₂O₃. Zaradi temperature sintranja do 1650–1990 °C in valovne dolžine prenosa 1–6 μm se običajno predeluje v taljeno steklo namesto v platinasti lonček, ki se zaradi prepustnosti svetlobe in odpornosti proti koroziji alkalijskih kovin lahko uporablja kot natrijeve cevi. V elektronski industriji se lahko uporablja kot visokofrekvenčni izolacijski material za podlage integriranih vezij. Glede na različno vsebnost aluminijevega oksida lahko serijo običajne aluminijeve oksidne keramike razdelimo na 99 keramiko, 95 keramiko, 90 keramiko in 85 keramiko. Včasih se keramika z 80 % ali 75 % aluminijevega oksida uvršča tudi v serijo običajne aluminijeve oksidne keramike. Med njimi se keramični material iz aluminijevega oksida 99 uporablja za izdelavo visokotemperaturnih lončkov, ognjevarnih cevi za peči in posebnih materialov, odpornih proti obrabi, kot so keramični ležaji, keramična tesnila in ventilske plošče. Aluminijasta keramika 95 se uporablja predvsem kot del, odporen proti koroziji in obrabi. Keramika 85 se pogosto meša z drugimi kovinami, s čimer se izboljšajo električne lastnosti in mehanska trdnost. Uporablja se lahko kot tesnila iz molibdena, niobija, tantala in drugih kovin, nekateri pa se uporabljajo kot električne vakuumske naprave.
Kakovostni artikel (reprezentativna vrednost) | Ime izdelka | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kemična sestava Izdelek z nizko vsebnostjo natrija za enostavno sintranje | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOL | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Srednji premer delcev (MT-3300, metoda laserske analize) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
Velikost kristala α | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Gostota oblikovanja** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
Gostota sintranja** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Stopnja krčenja sintralne linije** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO ni vključen v izračun čistosti Al₂O₃.
* Prah brez luščenja 29,4 MPa (300 kg/cm²), temperatura sintranja je 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Dodatek 0,05 ~ 0,1 % MgO zagotavlja odlično sintranje, zato je primeren za aluminijevo oksidno keramiko s čistostjo več kot 99 %.
AES-22S: Zanj je značilna visoka gostota oblikovanja in nizka stopnja krčenja sintralne linije, zato je uporaben za ulivanje v klizne kalupe in druge izdelke velikega obsega z zahtevano dimenzijsko natančnostjo.
AES-23 / AES-31-03: Ima večjo gostoto oblikovanja, tiksotropijo in nižjo viskoznost kot AES-22S. Prvi se uporablja za keramiko, drugi pa kot reduktor vode za ognjevarne materiale in pridobiva na priljubljenosti.
♦Značilnosti silicijevega karbida (SiC)
Splošne značilnosti | Čistost glavnih sestavin (mas. %) | 97 | |
Barva | Črna | ||
Gostota (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorpcija vode (%) | 0 | ||
Mehanske lastnosti | Upogibna trdnost (MPa) | 400 | |
Youngov modul (GPa) | 400 | ||
Trdota po Vickersu (GPa) | 20 | ||
Toplotne lastnosti | Najvišja delovna temperatura (°C) | 1600 | |
Koeficient toplotnega raztezanja | RT ~ 500 °C | 3,9 | |
(1/°C x 10⁻⁶) | RT ~800 °C | 4.3 | |
Toplotna prevodnost (W/m x K) | 130 110 | ||
Odpornost na toplotni šok ΔT (°C) | 300 | ||
Električne lastnosti | Volumenska upornost | 25°C | 3 x 106 |
300 °C | - | ||
500 °C | - | ||
800 °C | - | ||
Dielektrična konstanta | 10 GHz | - | |
Dielektrične izgube (x 10-4) | - | ||
Q-faktor (x 104) | - | ||
Dielektrična prebojna napetost (KV/mm) | - |
♦Silicijeva nitridna keramika
Material | Enota | Si₃N₄ |
Metoda sintranja | - | Sintrano pod tlakom plina |
Gostota | g/cm³ | 3.22 |
Barva | - | Temno siva |
Stopnja absorpcije vode | % | 0 |
Mladi modul | Povprečna ocena | 290 |
Trdota po Vickersu | Povprečna ocena | 18–20 |
Tlačna trdnost | MPa | 2200 |
Upogibna trdnost | MPa | 650 |
Toplotna prevodnost | W/mK | 25 |
Odpornost na toplotne udarce | Δ (°C) | 450 - 650 |
Najvišja delovna temperatura | °C | 1200 |
Volumenska upornost | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrična konstanta | - | 8.2 |
Dielektrična trdnost | kV/mm | 16 |