♦Aluminijev oksid (Al2O3)
Natančni keramični deli, ki jih proizvaja ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), so lahko izdelani iz keramičnih surovin visoke čistosti, 92~97 % aluminijevega oksida, 99,5 % aluminijevega oksida, >99,9 % aluminijevega oksida in hladnega izostatičnega stiskanja CIP.Visokotemperaturno sintranje in natančna obdelava, dimenzijska natančnost ± 0,001 mm, gladkost do Ra0,1, temperatura uporabe do 1600 stopinj.Različne barve keramike lahko izdelamo glede na zahteve kupcev, kot so: črna, bela, bež, temno rdeča itd. Natančni keramični deli, ki jih proizvaja naše podjetje, so odporni na visoke temperature, korozijo, obrabo in izolacijo ter jih je mogoče dolgo časa v okolju z visoko temperaturo, vakuumom in korozivnim plinom.
Pogosto se uporablja v različni opremi za proizvodnjo polprevodnikov: okvirji (keramični nosilec), podlaga (osnova), roka/most (manipulator), mehanske komponente in keramični zračni ležaj.
ime izdelka | Keramična kvadratna cev/cev/palica iz aluminijevega oksida 99 visoke čistosti | |||||
Kazalo | Enota | 85 % Al2O3 | 95 % Al2O3 | 99 % Al2O3 | 99,5 % Al2O3 | |
Gostota | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorpcija vode | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Temperatura sintranja | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Trdota | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Upogibna trdnost (20 ℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Tlačna trdnost | Kgf/cm2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Dolgotrajna delovna temperatura | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Maks.Delovna temperatura | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Volumski upor | 20 ℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Uporaba keramike z visoko čistostjo aluminijevega oksida:
1. Uporablja se za polprevodniško opremo: keramična vakuumska vpenjalna glava, rezalna plošča, čistilna plošča, keramična vpenjalna glava.
2. Deli za prenos rezin: vpenjalne glave za obdelavo rezin, rezalne plošče za rezine, čistilne plošče za rezine, priseski za optično pregledovanje rezin.
3. Industrija ploskih zaslonov LED/LCD: keramična šoba, keramični brusni disk, LIFT PIN, PIN letev.
4. Optična komunikacija, solarna industrija: keramične cevi, keramične palice, sitotisk na vezje, keramična strgala.
5. Toplotno odporni in električno izolacijski deli: keramični ležaji.
Trenutno lahko keramiko iz aluminijevega oksida razdelimo na keramiko visoke čistosti in običajno keramiko.Serija keramike iz aluminijevega oksida visoke čistosti se nanaša na keramični material, ki vsebuje več kot 99,9 % Al₂O₃.Zaradi njegove temperature sintranja do 1650 - 1990 °C in njegove transmisijske valovne dolžine 1 ~ 6 μm se običajno predela v staljeno steklo namesto platinskega lončka: ki se lahko uporablja kot natrijeva cev zaradi njegove prepustnosti svetlobe in odpornosti proti koroziji na alkalijska kovina.V elektronski industriji se lahko uporablja kot visokofrekvenčni izolacijski material za podlage IC.Glede na različne vsebnosti aluminijevega oksida lahko običajno serijo keramike iz aluminijevega oksida razdelimo na 99 keramike, 95 keramike, 90 keramike in 85 keramike.Včasih je keramika z 80 % ali 75 % aluminijevega oksida razvrščena tudi kot običajna serija keramike iz aluminijevega oksida.Med njimi se keramični material 99 iz aluminijevega oksida uporablja za izdelavo visokotemperaturnega lončka, ognjevarne cevi za peč in posebnih materialov, odpornih proti obrabi, kot so keramični ležaji, keramična tesnila in ventilske plošče.95 aluminijasta keramika se uporablja predvsem kot korozijsko odporen del, odporen proti obrabi.Keramika 85 je pogosto mešana v nekaterih lastnostih, s čimer se izboljša električna zmogljivost in mehanska trdnost.Uporablja lahko molibden, niobij, tantal in druga kovinska tesnila, nekatera pa se uporabljajo kot električne vakuumske naprave.
Kakovostni element (reprezentativna vrednost) | ime izdelka | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Kemična sestava Izdelek za enostavno sintranje z nizko vsebnostjo natrija | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | 99.9 | |
Srednji premer delcev (MT-3300, metoda laserske analize) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Velikost kristala | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Gostota oblikovanja** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Gostota sintranja** | g/cm³ | 3,88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3,88 | 3.77 | 3.22 | |
Hitrost krčenja linije za sintranje** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO ni vključen v izračun čistosti Al₂O3.
* Brez prahu za luščenje 29,4 MPa (300 kg/cm²), temperatura sintranja je 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: dodajte 0,05 ~ 0,1 % MgO, sintranje je odlično, zato je uporabno za keramiko iz aluminijevega oksida s čistostjo več kot 99 %.
AES-22S: zanj je značilna visoka gostota oblikovanja in nizka stopnja krčenja linije za sintranje, zato je uporaben za ulivanje z drsnimi oblikami in druge izdelke velikega obsega z zahtevano dimenzijsko natančnostjo.
AES-23 / AES-31-03: ima večjo gostoto oblikovanja, tiksotropijo in nižjo viskoznost kot AES-22S.prvi se uporablja za keramiko, medtem ko se drugi uporablja kot reduktor vode za ognjevarne materiale, ki postaja vse bolj priljubljen.
♦Karakteristike silicijevega karbida (SiC).
Splošne značilnosti | Čistost glavnih sestavin (masni %) | 97 | |
barva | Črna | ||
Gostota (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorpcija vode (%) | 0 | ||
Mehanske lastnosti | Upogibna trdnost (MPa) | 400 | |
Youngov modul (GPa) | 400 | ||
Vickersova trdota (GPa) | 20 | ||
Toplotne značilnosti | Najvišja delovna temperatura (°C) | 1600 | |
Koeficient toplotnega raztezanja | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Toplotna prevodnost (W/m x K) | 130 110 | ||
Odpornost na toplotni udar ΔT (°C) | 300 | ||
Električne značilnosti | Volumski upor | 25°C | 3 x 106 |
300°C | - | ||
500°C | - | ||
800°C | - | ||
Dielektrična konstanta | 10 GHz | - | |
Dielektrična izguba (x 10-4) | - | ||
Faktor Q (x 104) | - | ||
Dielektrična prebojna napetost (KV/mm) | - |
♦Keramika iz silicijevega nitrida
Material | Enota | Si₃N₄ |
Metoda sintranja | - | Sintrano pod tlakom plina |
Gostota | g/cm³ | 3.22 |
barva | - | Temno siva |
Stopnja absorpcije vode | % | 0 |
Young Modulus | Gpa | 290 |
Trdota po Vickersu | Gpa | 18 - 20 |
Tlačna trdnost | Mpa | 2200 |
Upogibna trdnost | Mpa | 650 |
Toplotna prevodnost | W/mK | 25 |
Odpornost na toplotni udar | Δ (°C) | 450 - 650 |
Najvišja delovna temperatura | °C | 1200 |
Volumski upor | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrična konstanta | - | 8.2 |
Dielektrična trdnost | kV/mm | 16 |