Material – keramika

♦Aluminijev oksid (Al2O3)

Precizni keramični deli, ki jih proizvaja ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG), so lahko izdelani iz visoko čistih keramičnih surovin, 92~97 % aluminijevega oksida, 99,5 % aluminijevega oksida, >99,9 % aluminijevega oksida in CIP hladnega izostatičnega stiskanja. Visokotemperaturno sintranje in natančna obdelava, dimenzijska natančnost ± 0,001 mm, gladkost do Ra0,1, uporabna temperatura do 1600 stopinj. Različne barve keramike so na voljo glede na zahteve strank, kot so: črna, bela, bež, temno rdeča itd. Precizni keramični deli, ki jih proizvaja naše podjetje, so odporni na visoke temperature, korozijo, obrabo in izolacijo ter se lahko dolgo časa uporabljajo v okolju z visoko temperaturo, vakuumom in korozivnimi plini.

Široko se uporablja v različni opremi za proizvodnjo polprevodnikov: okvirji (keramični nosilec), podlaga (osnova), roka/most (manipulator), mehanske komponente in keramični zračni ležaji.

AL₂O₃

Ime izdelka Visoko čista 99 aluminijeva keramična kvadratna cev / cev / palica
Kazalo Enota 85 % Al2O3 95 % Al2O3 99 % Al2O3 99,5 % Al2O3
Gostota g/cm3 3.3 3,65 3,8 3,9
Absorpcija vode % <0,1 <0,1 0 0
Temperatura sintranja 1620 1650 1800 1800
Trdota Mohsova 7 9 9 9
Upogibna trdnost (20 ℃)) MPa 200 300 340 360
Tlačna trdnost kgf/cm2 10000 25000 30000 30000
Dolgotrajna delovna temperatura 1350 1400 1600 1650
Maks. delovna temperatura 1450 1600 1800 1800
Volumenska upornost 20℃ Ω cm3 >1013 >1013 >1013 >1013
100 ℃ 1012–1013 1012–1013 1012–1013 1012–1013
300 ℃ >109 >1010 >1012 >1012

Uporaba visoko čiste aluminijeve keramike:
1. Uporablja se za polprevodniško opremo: keramična vakuumska vpenjalna glava, rezalni disk, čistilni disk, keramična vpenjalna glava.
2. Deli za prenos rezin: vpenjalne glave za rezine, diski za rezine, diski za čiščenje rezin, priseski za optični pregled rezin.
3. Industrija ploščatih LED/LCD zaslonov: keramična šoba, keramični brusilni disk, DVIGALO, PIN tirnica.
4. Optična komunikacija, sončna industrija: keramične cevi, keramične palice, keramična strgala za sitotisk tiskanih vezij.
5. Toplotno odporni in električno izolacijski deli: keramični ležaji.
Trenutno lahko aluminijevo oksidno keramiko razdelimo na visoko čisto in običajno keramiko. Serija visoko čiste aluminijeve oksidne keramike se nanaša na keramični material, ki vsebuje več kot 99,9 % Al₂O₃. Zaradi temperature sintranja do 1650–1990 °C in valovne dolžine prenosa 1–6 μm se običajno predeluje v taljeno steklo namesto v platinasti lonček, ki se zaradi prepustnosti svetlobe in odpornosti proti koroziji alkalijskih kovin lahko uporablja kot natrijeve cevi. V elektronski industriji se lahko uporablja kot visokofrekvenčni izolacijski material za podlage integriranih vezij. Glede na različno vsebnost aluminijevega oksida lahko serijo običajne aluminijeve oksidne keramike razdelimo na 99 keramiko, 95 keramiko, 90 keramiko in 85 keramiko. Včasih se keramika z 80 % ali 75 % aluminijevega oksida uvršča tudi v serijo običajne aluminijeve oksidne keramike. Med njimi se keramični material iz aluminijevega oksida 99 uporablja za izdelavo visokotemperaturnih lončkov, ognjevarnih cevi za peči in posebnih materialov, odpornih proti obrabi, kot so keramični ležaji, keramična tesnila in ventilske plošče. Aluminijasta keramika 95 se uporablja predvsem kot del, odporen proti koroziji in obrabi. Keramika 85 se pogosto meša z drugimi kovinami, s čimer se izboljšajo električne lastnosti in mehanska trdnost. Uporablja se lahko kot tesnila iz molibdena, niobija, tantala in drugih kovin, nekateri pa se uporabljajo kot električne vakuumske naprave.

 

Kakovostni artikel (reprezentativna vrednost) Ime izdelka AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22S AES-23 AL-31-03
Kemična sestava Izdelek z nizko vsebnostjo natrija za enostavno sintranje H₂O % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
LOL % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
SiO₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂O % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MgO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Srednji premer delcev (MT-3300, metoda laserske analize) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
Velikost kristala α μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Gostota oblikovanja** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2,35 2,57 2,56
Gostota sintranja** g/cm³ 3,88 3,93 3,94 3,93 3,88 3,77 3.22
Stopnja krčenja sintralne linije** % 17 17 18 18 15 12 7

* MgO ni vključen v izračun čistosti Al₂O₃.
* Prah brez luščenja 29,4 MPa (300 kg/cm²), temperatura sintranja je 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Dodatek 0,05 ~ 0,1 % MgO zagotavlja odlično sintranje, zato je primeren za aluminijevo oksidno keramiko s čistostjo več kot 99 %.
AES-22S: Zanj je značilna visoka gostota oblikovanja in nizka stopnja krčenja sintralne linije, zato je uporaben za ulivanje v klizne kalupe in druge izdelke velikega obsega z zahtevano dimenzijsko natančnostjo.
AES-23 / AES-31-03: Ima večjo gostoto oblikovanja, tiksotropijo in nižjo viskoznost kot AES-22S. Prvi se uporablja za keramiko, drugi pa kot reduktor vode za ognjevarne materiale in pridobiva na priljubljenosti.

♦Značilnosti silicijevega karbida (SiC)

Splošne značilnosti Čistost glavnih sestavin (mas. %) 97
Barva Črna
Gostota (g/cm³) 3.1
Absorpcija vode (%) 0
Mehanske lastnosti Upogibna trdnost (MPa) 400
Youngov modul (GPa) 400
Trdota po Vickersu (GPa) 20
Toplotne lastnosti Najvišja delovna temperatura (°C) 1600
Koeficient toplotnega raztezanja RT ~ 500 °C 3,9
(1/°C x 10⁻⁶) RT ~800 °C 4.3
Toplotna prevodnost (W/m x K) 130 110
Odpornost na toplotni šok ΔT (°C) 300
Električne lastnosti Volumenska upornost 25°C 3 x 106
300 °C -
500 °C -
800 °C -
Dielektrična konstanta 10 GHz -
Dielektrične izgube (x 10-4) -
Q-faktor (x 104) -
Dielektrična prebojna napetost (KV/mm) -

20200507170353_55726

♦Silicijeva nitridna keramika

Material Enota Si₃N₄
Metoda sintranja - Sintrano pod tlakom plina
Gostota g/cm³ 3.22
Barva - Temno siva
Stopnja absorpcije vode % 0
Mladi modul Povprečna ocena 290
Trdota po Vickersu Povprečna ocena 18–20
Tlačna trdnost MPa 2200
Upogibna trdnost MPa 650
Toplotna prevodnost W/mK 25
Odpornost na toplotne udarce Δ (°C) 450 - 650
Najvišja delovna temperatura °C 1200
Volumenska upornost Ω·cm > 10 ^ 14
Dielektrična konstanta - 8.2
Dielektrična trdnost kV/mm 16