Sistemi zračnih ležajev iz granita se pogosto uporabljajo vultra preciznaplatforme za gibanje za proizvodnjo polprevodnikov, optično poravnavo in nanometrsko metrologijo.
Ti sistemi odpravljajo mehanski stik z uporabo tanke plasti stisnjenega zraka, s čimer dosežejo skoraj ničelno trenje.
Načelo zračnega ležaja
Zračni ležaji delujejo tako, da med dve površini vbrizgavajo stisnjen zrak, pri čemer tvorijo zračni film debeline 2–20 μm.
To odpravlja:
- Mehansko trenje
- Nosite
- Obnašanje pri zdrsavanju
Sistem se zanaša na dinamiko tekočinskega filma in stabilen laminarni tok.
Vloga granita
Granit zagotavlja:
- Strukturna stabilnost
- Zmanjševanje toplotnega drifta
- Dušenje vibracij
Služi kot mehanska referenčna osnova za sistem gibanja.
Sistemske komponente
- Granitna podlaga
- Obloge zračnih ležajev
- Sistem za dovod zraka
- Precizni dajalniki
- Sistem za nadzor gibanja
Značilnosti delovanja
Tipična zmogljivost vključuje:
- Natančnost pozicioniranja v submikronskih mejah
- Visoka premost na dolgih gibih
- Brez mehanskega povratnega udarca
Ključni viri napak vključujejo nestabilnost zračnega tlaka, toplotni drift in napako dajalnika.
Aplikacije
- Pregled polprevodniških rezin
- Litografski sistemi
- Platforme za optično poravnavo
- Vrhunski metrološki stroji
Pogosta vprašanja
Ali se zračni ležaji obrabljajo?
Brez mehanskega stika se obraba ne odpravi.
Zakaj uporabljati granit?
Za stabilnost in blaženje vibracij.
Kaj omejuje natančnost?
Stabilnost zraka in toplotni učinki.
Ali lahko nosijo težke tovore?
Da, odvisno od zasnove.
Čas objave: 3. julij 2026