Granit je trd in trpežen material, ki se pogosto uporablja v gradbeništvu. Vendar pa ima tudi lastnosti, zaradi katerih je koristna pri proizvodnji polprevodnikov, zlasti pri izdelavi in predelavi integriranih vezij. Granitne komponente, kot so granitne mize in granitni bloki, se široko uporabljajo za njihovo stabilnost, ravnost in nizko toplotno širjenje koeficienta.
Ena glavnih uporabe granitnih komponent v proizvodnji polprevodnikov je v postopku izdelave. Silicijeve rezine, osnovne gradnike integriranih vezij, je treba izdelati z visoko natančnostjo in natančnostjo. Vsako izkrivljanje ali gibanje med postopkom lahko privede do napak, ki lahko vplivajo na kakovost in funkcionalnost integriranih vezij. Granitne mize z visoko stabilnostjo in ravnostjo zagotavljajo dobro platformo za opremo za predelavo rezin. Prav tako so odporni na toplotno ekspanzijo in krčenje, ki ga povzroča ogrevanje in hlajenje, potrebno v postopku.
Granitni bloki se uporabljajo tudi pri polprevodniški obdelavi za njihovo toplotno stabilnost. Med postopki jedkanja ali odlaganja se za spreminjanje površine silicijeve rezine uporabljajo vroči plini ali plazme. Temperaturo rezin je treba nadzorovati, da se postopek izvaja učinkovito in natančno. Granitni bloki z nizkim koeficientom toplotne ekspanzije pomagajo stabilizirati temperaturo rezin, kar zmanjšuje tveganje za temperaturna nihanja, ki bi lahko vplivale na kakovost predelanega materiala.
Poleg procesov izdelave in obdelave se granitne komponente uporabljajo tudi v merologiji in preglednih fazah proizvodnje polprevodnikov. Merovne meritve so narejene tako, da zagotovijo, da so velikost, oblika in položaj struktur na rezini znotraj potrebnih specifikacij. Granitni bloki se v teh meritvah uporabljajo kot referenčni standardi zaradi svoje dimenzijske stabilnosti in natančnosti. Uporabljajo se tudi v inšpekcijskih fazah, kjer se kakovost integriranih vezij preveri pod veliko povečavo.
Na splošno se je uporaba granitnih komponent v proizvodnji polprevodnikov v zadnjih letih povečala. Potreba po visoki natančnosti, natančnosti in stabilnosti pri izdelavi in obdelavi integriranih vezij je spodbudila sprejemanje teh materialov s strani proizvajalcev polprevodnikov. Edinstvene lastnosti granita, kot so njegova trdota, stabilnost in nizki koeficient toplotne ekspanzije, so odlična izbira za uporabo v teh procesih. Z nenehnim razvojem in izboljševanjem tehnologije polprevodnikov naj bi uporaba granitnih komponent v prihodnosti še povečala.
Čas objave: dec-05-2023