Granit je trden in vzdržljiv material, ki se pogosto uporablja v gradbeništvu. Vendar pa ima tudi lastnosti, zaradi katerih je uporaben v proizvodnji polprevodnikov, zlasti pri izdelavi in obdelavi integriranih vezij. Granitne komponente, kot so granitne mize in granitni bloki, se pogosto uporabljajo zaradi svoje stabilnosti, ravnosti in nizkega koeficienta toplotnega raztezanja.
Ena glavnih uporab granitnih komponent v proizvodnji polprevodnikov je v procesu izdelave. Silicijeve rezine, osnovni gradniki integriranih vezij, morajo biti izdelane z visoko natančnostjo in natančnostjo. Vsako popačenje ali premikanje med postopkom lahko povzroči napake, ki lahko vplivajo na kakovost in funkcionalnost integriranih vezij. Granitne mize s svojo visoko stabilnostjo in ravnostjo zagotavljajo dobro platformo za opremo za obdelavo rezin. Odporne so tudi na toplotno raztezanje in krčenje, ki ga povzročata segrevanje in hlajenje, potrebno v procesu.
Granitni bloki se zaradi svoje toplotne stabilnosti uporabljajo tudi pri obdelavi polprevodnikov. Med postopki jedkanja ali nanašanja se za spreminjanje površine silicijeve rezine uporabljajo vroči plini ali plazma. Temperaturo rezine je treba nadzorovati, da se zagotovi učinkovita in natančna izvedba postopka. Granitni bloki z nizkim koeficientom toplotnega raztezanja pomagajo stabilizirati temperaturo rezine in zmanjšajo tveganje temperaturnih nihanj, ki bi lahko vplivala na kakovost obdelanega materiala.
Poleg postopkov izdelave in obdelave se granitne komponente uporabljajo tudi v metroloških in kontrolnih fazah proizvodnje polprevodnikov. Metrološke meritve se izvajajo za zagotovitev, da so velikost, oblika in položaj struktur na rezini znotraj zahtevanih specifikacij. Granitni bloki se pri teh meritvah uporabljajo kot referenčni standardi zaradi svoje dimenzijske stabilnosti in natančnosti. Uporabljajo se tudi v kontrolnih fazah, kjer se kakovost integriranih vezij preverja pod veliko povečavo.
Na splošno se je uporaba granitnih komponent v proizvodnji polprevodnikov v zadnjih letih povečala. Potreba po visoki natančnosti, točnosti in stabilnosti pri izdelavi in obdelavi integriranih vezij je spodbudila proizvajalce polprevodnikov k sprejetju teh materialov. Zaradi edinstvenih lastnosti granita, kot so trdota, stabilnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja, je odlična izbira za uporabo v teh procesih. Z nenehnim razvojem in izboljševanjem polprevodniške tehnologije se pričakuje, da se bo uporaba granitnih komponent v prihodnosti še povečala.
Čas objave: 5. dec. 2023