Granit je trden in vzdržljiv material, ki se pogosto uporablja v gradbeništvu.Vendar pa ima tudi lastnosti, zaradi katerih je uporaben v proizvodnji polprevodnikov, zlasti pri izdelavi in obdelavi integriranih vezij.Granitne komponente, kot so granitne mize in granitni bloki, se pogosto uporabljajo zaradi svoje stabilnosti, ravnosti in nizkega koeficienta toplotnega raztezanja.
Ena od primarnih uporab granitnih komponent v proizvodnji polprevodnikov je v procesu izdelave.Silicijeve rezine, osnovne gradnike integriranih vezij, je treba izdelati zelo natančno in natančno.Kakršno koli popačenje ali premikanje med postopkom lahko povzroči napake, ki lahko vplivajo na kakovost in funkcionalnost integriranih vezij.Granitne mize s svojo visoko stabilnostjo in ravnostjo zagotavljajo dobro platformo za opremo za obdelavo rezin.Prav tako so odporni proti toplotnemu raztezanju in krčenju zaradi ogrevanja in hlajenja, ki sta potrebna v procesu.
Granitne kocke se zaradi svoje toplotne stabilnosti uporabljajo tudi pri obdelavi polprevodnikov.Med postopki jedkanja ali nanašanja se za modificiranje površine silicijeve rezine uporabljajo vroči plini ali plazma.Temperaturo rezine je treba nadzorovati, da zagotovimo učinkovito in natančno izvedbo postopka.Granitni bloki s svojim nizkim koeficientom toplotnega raztezanja pomagajo stabilizirati temperaturo rezine, kar zmanjšuje tveganje temperaturnih nihanj, ki bi lahko vplivala na kakovost obdelanega materiala.
Poleg proizvodnih in predelovalnih procesov se granitne komponente uporabljajo tudi v meroslovnih in inšpekcijskih fazah proizvodnje polprevodnikov.Opravljene so meroslovne meritve, da se zagotovi, da so velikost, oblika in položaj struktur na rezini znotraj zahtevanih specifikacij.Granitne kocke se zaradi svoje dimenzijske stabilnosti in natančnosti uporabljajo kot referenčni standardi pri teh meritvah.Uporabljajo se tudi pri pregledih, kjer se kakovost integriranih vezij preverja pod veliko povečavo.
Na splošno se je uporaba granitnih komponent v proizvodnji polprevodnikov v zadnjih letih povečala.Potreba po visoki natančnosti, natančnosti in stabilnosti pri izdelavi in obdelavi integriranih vezij je povzročila, da so proizvajalci polprevodnikov sprejeli te materiale.Edinstvene lastnosti granita, kot so njegova trdota, stabilnost in nizek koeficient toplotne razteznosti, so odlična izbira za uporabo v teh procesih.Z nenehnim razvojem in izboljšanjem polprevodniške tehnologije se pričakuje, da bo uporaba granitnih komponent v prihodnosti še rasla.
Čas objave: 5. december 2023