Granitne komponente se pogosto uporabljajo v procesu proizvodnje polprevodnikov zaradi svojih odličnih lastnosti, kot so vrhunska površinska obdelava, visoka togost in odlično dušenje vibracij. Granitne komponente so bistvene za opremo za izdelavo polprevodnikov, vključno z litografskimi stroji, polirnimi stroji in metrološkimi sistemi, saj zagotavljajo natančno pozicioniranje in stabilnost med proizvodnim procesom. Kljub vsem prednostim uporabe granitnih komponent imajo tudi pomanjkljivosti. V tem članku bomo obravnavali pomanjkljivosti granitnih komponent za izdelke v procesu proizvodnje polprevodnikov.
Prvič, granitne komponente imajo visok koeficient toplotnega raztezanja. To pomeni, da se pod toplotnimi obremenitvami znatno razširijo, kar lahko povzroči težave med proizvodnim procesom. Postopek izdelave polprevodnikov zahteva visoko natančnost in dimenzijsko točnost, ki bi lahko bila ogrožena zaradi toplotnih obremenitev. Na primer, deformacija silicijevih rezin zaradi toplotnega raztezanja lahko povzroči težave s poravnavo med litografijo, kar bi lahko ogrozilo kakovost polprevodniške naprave.
Drugič, granitne komponente imajo napake v poroznosti, ki lahko povzročijo puščanje vakuuma v procesu izdelave polprevodnikov. Prisotnost zraka ali katerega koli drugega plina v sistemu lahko povzroči kontaminacijo površine rezine, kar povzroči napake, ki lahko vplivajo na delovanje polprevodniške naprave. Inertni plini, kot sta argon in helij, lahko pronicajo v porozne granitne komponente in ustvarijo plinske mehurčke, ki bi lahko motili celovitost vakuumskega procesa.
Tretjič, granitne komponente imajo mikrorazpoke, ki bi lahko vplivale na natančnost proizvodnega procesa. Granit je krhek material, ki lahko sčasoma razvije mikrorazpoke, zlasti če je izpostavljen stalnim ciklom obremenitve. Prisotnost mikrorazpok lahko povzroči dimenzijsko nestabilnost, kar povzroča znatne težave med proizvodnim procesom, kot sta poravnava litografije ali poliranje rezin.
Četrtič, granitne komponente imajo omejeno prilagodljivost. Postopek izdelave polprevodnikov zahteva prilagodljivo opremo, ki se lahko prilagodi različnim spremembam procesa. Vendar so granitne komponente toge in se ne morejo prilagoditi različnim spremembam procesa. Zato vsaka sprememba v proizvodnem procesu zahteva odstranitev ali zamenjavo granitnih komponent, kar vodi do izpada in vpliva na produktivnost.
Petič, granitne komponente zahtevajo posebno ravnanje in prevoz zaradi svoje teže in krhkosti. Granit je gost in težek material, ki zahteva specializirano opremo za ravnanje, kot so žerjavi in dvižne naprave. Poleg tega granitne komponente zahtevajo skrbno pakiranje in prevoz, da se preprečijo poškodbe med prevozom, kar bi povzročilo dodatne stroške in čas.
Skratka, granitne komponente imajo nekaj pomanjkljivosti, ki bi lahko vplivale na kakovost in produktivnost izdelkov v procesu izdelave polprevodnikov. Te napake bi lahko zmanjšali s skrbnim ravnanjem in vzdrževanjem granitnih komponent, vključno z rednimi pregledi mikrorazpok in napak poroznosti, ustreznim čiščenjem za preprečevanje kontaminacije in skrbnim ravnanjem med transportom. Kljub napakam granitne komponente ostajajo ključni del procesa izdelave polprevodnikov zaradi svoje vrhunske površinske obdelave, visoke togosti in odličnega dušenja vibracij.
Čas objave: 5. dec. 2023