Granitne komponente se pogosto uporabljajo v proizvodnem procesu polprevodnikov zaradi svojih odličnih lastnosti, kot so vrhunska površinska obdelava, visoka togost in odlično dušenje vibracij.Granitne komponente so bistvene za opremo za izdelavo polprevodnikov, vključno s stroji za litografijo, stroji za poliranje in meroslovnimi sistemi, saj zagotavljajo natančno pozicioniranje in stabilnost med proizvodnim procesom.Kljub vsem prednostim uporabe granitnih komponent pa imajo tudi pomanjkljivosti.V tem članku bomo razpravljali o napakah granitnih komponent za izdelke proizvodnega procesa polprevodnikov.
Prvič, granitne komponente imajo visok koeficient toplotnega raztezanja.To pomeni, da se močno razširijo pod toplotno obremenitvijo, kar lahko povzroči težave med proizvodnim procesom.Postopek izdelave polprevodnikov zahteva visoko natančnost in dimenzijsko natančnost, ki bi lahko bila ogrožena zaradi toplotne obremenitve.Na primer, deformacija silicijeve rezine zaradi toplotnega raztezanja lahko povzroči težave s poravnavo med litografijo, kar bi lahko ogrozilo kakovost polprevodniške naprave.
Drugič, granitne komponente imajo napake v poroznosti, ki lahko povzročijo vakuumsko puščanje v procesu izdelave polprevodnikov.Prisotnost zraka ali katerega koli drugega plina v sistemu bi lahko povzročila kontaminacijo na površini rezine, kar bi povzročilo napake, ki bi lahko vplivale na delovanje polprevodniške naprave.Inertni plini, kot sta argon in helij, bi lahko prodrli v porozne granitne komponente in ustvarili plinske mehurčke, ki bi lahko motili celovitost vakuumskega procesa.
Tretjič, granitne komponente imajo mikrofrakture, ki bi lahko vplivale na natančnost proizvodnega procesa.Granit je krhek material, ki lahko sčasoma razvije mikrofrakture, zlasti če je izpostavljen nenehnim ciklom obremenitev.Prisotnost mikrofraktur bi lahko povzročila dimenzijsko nestabilnost, kar bi povzročilo pomembne težave med proizvodnim procesom, kot je poravnava litografije ali poliranje rezin.
Četrtič, granitne komponente imajo omejeno prilagodljivost.Postopek izdelave polprevodnikov zahteva prilagodljivo opremo, ki se lahko prilagodi različnim spremembam procesa.Vendar so granitne komponente toge in se ne morejo prilagajati različnim spremembam procesa.Zato je zaradi kakršnih koli sprememb v proizvodnem procesu potrebna odstranitev ali zamenjava granitnih komponent, kar vodi do izpadov in vpliva na produktivnost.
Petič, granitne komponente zahtevajo posebno rokovanje in transport zaradi svoje teže in krhkosti.Granit je gost in težak material, ki zahteva specializirano opremo za rokovanje, kot so žerjavi in dvigala.Poleg tega granitne komponente zahtevajo skrbno pakiranje in transport, da preprečite poškodbe med pošiljanjem, kar povzroči dodatne stroške in čas.
Skratka, granitne komponente imajo nekatere pomanjkljivosti, ki bi lahko vplivale na kakovost in produktivnost izdelkov proizvodnega procesa polprevodnikov.Te napake je mogoče zmanjšati s skrbnim ravnanjem z granitnimi komponentami in vzdrževanjem, vključno z rednim pregledovanjem mikrofraktur in napak poroznosti, ustreznim čiščenjem za preprečevanje kontaminacije in skrbnim ravnanjem med prevozom.Kljub napakam ostajajo granitne komponente pomemben del procesa izdelave polprevodnikov zaradi vrhunske končne obdelave površine, visoke togosti in odličnega dušenja tresljajev.
Čas objave: 5. december 2023